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儀表網>產品庫>專用儀表>其它行業>電子檢測儀器/半導體檢測儀器>Keithley 2461 源表
  • Keithley 2461 源表

Keithley 2461 源表

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  • 型號
  • 品牌
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  • 更新時間2022-01-20
  • 廠商性質其他
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2461 數字源表 概述Model 2461 高電流 SourceMeter® 源 測量單元 (SMU) 儀器。
Keithley 2461 源表 產品詳情

2461 數字源表 概述


Model 2461 融合10A/1000W脈沖電流和7A/100W DC 電流功能與雙 18 位 1MS/s 模數轉 換器。

  • 曲線分析儀和 I-V 特性分析系統

  • 100V / 10A 脈沖功率 1000W

  • 雙 1MS/s 模數轉換器,支持快速 采樣測量

  • 5 英寸高清容性觸摸屏 GUI

  • 0.012% DCV 準確度,6? 位分辨 率

  • 源和阱 (4 象限 ) 操作

  • 4 種“Quickset”模式,支持快速 設置和測量

  • 上下文相關幫助功能

  • 前面板輸入香蕉插孔;后面板平衡 螺釘連接

  • SCPI和測試腳本處理程序(TSP®) 編程模式

  • 前面板 USB 2.0 存儲 I/O 端口, 用來傳送數據、測試腳本或測試配置



Keithley 2461數字源表 
Model 2461 

Keithley 2461數字源表 
SMU基于圖標的圖形菜單結構

內置雙 1MS/s 模數轉換器,捕獲待測器件特性 

憑借 Model 2461 的數字化功能,捕獲和顯示待測器件操作、波形和瞬態波形變得 異常簡便。兩個內置 1MS/s、18 位模數轉換器可以同時采集電壓波形和電流波形, 而不需使用單獨的儀器。數字化功能采用的 DC 電壓和電流量程與標準模數轉換器 相同。此外,電壓數字化功能采用相同的 DC 電壓 10GW 輸入阻抗,明顯降低了被 測器件 (DUT) 上的負載。 

Keithley 2461數字源表 
高速數字化功能可以同時捕獲和顯示電壓測量和電流測量 

全內置 SMU 儀器 


FeatureModel 2461Models2420/2425/2440Model 2430
電壓100V60V/100V/40V100V
DC 電流7A3A/3A/5A3A
脈沖電流10ANA10A
DC/ 脈沖功率100W/1000W高達100W/NA100W/1000W
模數轉換器雙 18 位 1MS/s
帶寬噪聲<4.5mVrms 典型值10mVrms 典型值10mVrms 典型值
掃描類型線性 , 對數 , 雙 線性 , 雙對數 , 自定義線性 , 對數 , 自定義 , 供電存儲線性 , 對數 , 自定義 , 供電存儲
讀取緩沖器容量>2 M 點讀取緩沖器5000 點讀取緩沖器5000 點讀取緩沖器
編程命令類型SCPI 編程 +TSP 腳本SCPISCPI
PC 接口GPIB, USB, 以 太網 (LXI)GPIB, RS-232GPIB, RS-232
信號輸入連接前:香蕉插座
后:螺絲端子 連接
前/后 香蕉插座前/后 香蕉插座


Model 2461 與原來的 Model 2420、2425、2430、2440 對比 

Keithley 2461數字源表 
2461 功率包絡 

 

2461 數字源表 技術數據


電壓指標 1, 2

分辨率




供電


測量 3

量程 DC 電流
分辨率準確度 (23°±5℃ ), 1 年 ±(% 設置 + 電壓 )噪聲 (RMS) (<10Hz)
分辨率 4準確度 (23°±5℃ ), 1 年 ±(% 讀數 + 電壓 )模數轉換器準確度 5 23°±5℃ , 1 周 ± (% 讀數 + 電壓 )
200.0000 mV7.35 A
5 μV0.015 % + 200 µV1 µV
100 nV0.012 % + 200 µV0.05 % + 1.2 mV
2.000000 V7.35 A
50 µV0.015 % + 300 µV2 µV
1 µV0.012 % + 300 µV0.05 % + 1.2 mV
7.000000 V7.35 A
250 µV0.015 % + 2.4 mV20 µV
1 µV0.015 % + 1 mV0.05 % + 8 mV
10.00000 V5.25 A
250 µV0.015 % + 2.4 mV20 µV
10 µV0.015 % + 1 mV0.05 % + 8 mV
20.00000 V4.20 A
500 µV0.015 % + 2.4 mV20 µV
10 µV0.015 % + 1 mV0.05 % + 8 mV
100.0000 V1.05 A
2.5 mV0.015 % + 15 mV200 µV
100 µV0.015 % + 5 mV0.05 % + 40 mV

測量輸入電阻:>10GW,所有量程。
溫度系數:±(0.10 × 準確度指標 )/℃,0° ~ 18℃和 28° ~ 50℃。

電流指標 1, 2, 6




供電


測量 3

量程 DC 電流
分辨率準確度 (23°±5℃ ), 1 年 ±(% 設置 + 電壓 )噪聲 (RMS) (<10Hz)
分辨率4準確度 (23°±5℃ ), 1 年 ±(% 讀數 + 電壓 )模數轉換器準確度 5 23°±5℃ , 1 周 ± (% 讀數 + 電壓 )
1.000000 μA105 V
50 pA0.025 % + 1 nA40 pA
1 pA0.025 % + 700 pA0.05 % + 4 nA
10.00000 μA105 V
500 pA0.025 % + 1.5 nA40 pA
10 pA0.025 % + 1 nA0.05 % + 8 nA
100.0000 μA105 V
5 nA0.020 % + 15 nA100 pA
100 pA0.020 % + 10 nA0.05 % + 80 nA
1.000000 mA105 V
50 nA0.020 % + 150 nA1 nA
1 nA0.020 % + 100 nA0.05 % + 800 nA
10.00000 mA105 V
500 nA0.020 % + 1.5 μA10 nA
10 nA0.020 % + 1 μA0.05 % + 8 μA
100.0000 mA105 V
5 μA0.020 % + 15 μA100 nA
100 nA0.020 % + 10 μA0.05 % + 80 μA
1.000000 A105 V
50 μA0.050 % + 750 μA5 μA
1 μA0.050 % + 500 μA0.05 % + 1 mA
4.000000 A21 V
250 μA0.100 % + 3 mA25 μA
1 μA0.100 % + 2.5 mA0.10 % + 5 mA
5.000000 A10.5 V
250 μA0.100 % + 3 mA25 μA
1 μA0.100 % + 2.5 mA0.10 % + 5 mA
7.000000 A7.35 V
500 μA0.150 % + 6 mA125 μA
1 μA0.150 % + 5 mA0.15 % + 10 mA
10.00000 A 77.35 V
500 μA0.150 % + 6 mA125 μA
10 μA0.150 % + 5 mA0.15 % + 10 mA

輸入端壓降 8:<100mV,所有量程。

溫度系數:±(0.10 × 準確度指標 )/℃,0° ~ 18℃和 28° ~ 5℃。

1. 速度 = 1 PLC。
2. 所有指標均為輸出打開時有保障的指標。
3. 在正確清零時,準確度適用于 2 線和 4 線模式。
4. 6.5 位測量分辨率。模數轉換器的分辨率受到噪聲限制。
5. 18 位 ADC。1ms 間隔平均獲得 1000 個樣點。內部溫度在 ±5℃以內,ACAL 一周。
6. 在使用 Model 2461 的 Model 2460-KIT 螺絲端子附件時有保障的準確度指標。
7. 10A 量程 DC 指標適用于 7.35A。>7.35A 的操作只適用于脈沖模式。適用于脈沖寬度和占空比極限。如需進一步了解脈沖操作,請參閱脈沖指標和典型脈沖性能部分。
8. 4 線模式。


電阻測量準確度 ( 本地或遠程傳感 ) 9, 10, 11

量程分辨率 12默認測試電流正確準確度 (23℃ ±5℃ ), 1年 ±(%讀數+阻抗)增強準確度 13(23℃ ±5℃ ), 1年±(%讀數+阻抗)
<2.000000 W141 μW用戶自定義源 IACC + 測量 VACC測量 IACC + 測量 VACC
2.000000 W1 μW100 mA0.05 % + 0.003 Ω0.04 % + 0.001 Ω
20.00000 W10 μW100 mA0.05 % + 0.003 Ω0.04 % + 0.001 Ω
200.0000 W100 μW10 mA0.05 % + 0.03 Ω0.04 % + 0.01 Ω
2.000000 kW1 mW1 mA0.05 % + 0.3 Ω0.04 % + 0.1 Ω
20.00000 kW10 mW100 μA0.05 % + 3 Ω0.04 % + 1 Ω
200.0000 kW100 mW10 μA0.05 % + 30 Ω0.05 % + 10 Ω
2.000000 MW1 W10 μA0.06 % + 100 Ω0.06 % + 50 Ω
20.00000 MW10 W1 μA0.14 % + 1 kΩ0.12 % + 500 Ω
200.0000 MW100 W100 nA1.04 % + 10 kΩ0.74 % + 5 kΩ
>200.0000 MW14用戶自定義源IACC + 測量 VACC測量 IACC + 測量 VACC

提供電流、測量電阻模式:總不確定度 = 電流 提供準確度 + 電壓測量準確度 (4 線遠程傳 感 )。

溫度系數 (0° -18℃和 28° -50℃ ):±(0.10 × 精度指標 )/℃。

9. 速度 = 1 PLC。
10. 所有指標均為輸出打開時有保障的指標。
11. 在正確清零時,準確度適用于 2 線和 4 線模式。
12. 6.5 位測量分辨率。
13. 啟用供電讀數功能。偏置補償打開。
14. 僅提供電流、測量電阻或提供電壓、測量電阻

其他脈沖模式輸出指標

最小可編程脈沖寬度:150ms。
注:穩定和 / 或測量時間可能 會長于 150ms。
擴展范圍脈沖寬度:7A 及以下量程為 2.5ms,10A 量程 為 1ms。
DC 脈沖寬度:10,000 秒。
脈沖寬度編程分辨率:可變,受到脈沖寬度和脈沖寬度抖動 限制。
脈沖寬度抖動:<(50ms + 脈沖寬度的 10%),典型值, Acquire Readings = OFF。
脈沖占空比:20V及以下量程為10%,100V量程為5%。

典型脈沖性能 ( 固定量程,4W 連接 )

源值極限范圍 和極限值負載上升時間 (10%-90%)穩定時間 ( 量程的 1%)
100 V10.5 A10 Ω300 μs520 μs
100 V1.05 A200 Ω180 μs320 μs
20 V10 A2 Ω150 μs340 μs
10 A105 V10 Ω300 μs700 μs
7 A7.35 V1 Ω120 μs360 μs
5 A10.5 V2 Ω110 μs280 μs

接觸檢查

接觸檢查速度:檢驗和通知 <100ms

電阻設置2 Ω15 Ω50 Ω
未接觸檢查失敗<1.0 Ω<10.0 Ω<40.0 Ω
一直接觸檢查失敗>6.0 Ω>20.0 Ω>60.0 Ω

模數轉換器特點

分辨率 : 18 位。
提供的測量功能:電壓測量,電流測量,同時測量電壓和電流, 電阻測量,功率測量。
采樣率 15:可編程,1000~1M 樣點 / 秒。
易失性采樣存儲器,帶時間標記:27.5 M。
最小記錄時間:1ms。
時間標記分辨率:標準或全存儲模式1ns,緊湊存儲模式 1ms。
記錄長度:5 M。
量程選擇:模數轉換器測量要求固定量程。
測量穩定時間:取決于量程和負載。
對10mA及以下電流范圍, 準確度受到穩定時間限制。

補充特點

輸出功率:1050W 脈沖,105W DC,四象限供電和接 收操作。
過量程:量程的 105%,供電和測量。 穩定:電壓:工頻:量程的 0.01%。
負載:量程的 0.01% + 100mV。 電流:工頻:量程的 0.01%。
負載:量程的 0.01% + 100pA。
供電極限: 電壓源電流極限:雙極電流極限用一個值設置,為量程 的 10%。
電流源電壓極限:雙極電壓極限用一個值設置,為量程 的 10%。
V/I極限準確度:在基本指標中增加讀數的 0.3% 和 ± 讀數 的 0.02%。
過沖: 電壓供電:<0.1% 典型值。
步長 = 滿刻度,阻性負載,20V 量程,10mA 電流極限 )。
電流供電:<0.1% 典型值。
步長 = 1mA 步進,阻性負載 = 10kW,20V 量程 )
量程變化過沖:過沖到全阻性 100kW 負載,10Hz ~ 20MHz 帶寬,相鄰量程:<250mV 典型值。
輸出穩定時間:要求時間達到最終值的0.1%以內:20 V量程, 100 mA 電流極限:<200ms 典型值。
轉換速率 : 1V/ms,100V 量程, 100mA 極限,20kW 負 載(典型值)。
0.6V/ms,20V量程,100mA極限,20kW負載(典 型值 )。
過壓保護:用戶可以選擇值,5% ±0.5V 容限。
出廠默認值 為“none“( 無 )。
電壓供電噪聲:10Hz ~ 20MHz (RMS):<4.5mV 典型值,阻 性負載。
共模電壓:250V DC。
共模隔離度:>1GW,<1000pF。 噪聲抑制 ( 典型值 ):

NPLCNMRRCMRR
0.0160 dB
0.160 dB
160 dB100 dB

負載阻抗 : 普通模式:
20nF 典型值。
高電容模式:穩定到50μF典型值。
高電容模式適用于 ≥ 100μA 量程。
Force 端與 Sense 端之間電壓:5V。
輸出線上壓降:1V。
線上電阻:對額定準確度為 1MW。
Sense 輸入阻抗:>10GW。
保護偏置電壓:<300mV 典型值。

系統測量速度16

60Hz (50Hz)、腳本 (TSP®) 編程的讀取速率(每秒讀數)。

NPLC觸發原點測量到存儲測量到 GPIB/ USB/LAN源、測量 到存儲源、測量到 GPIB/USB/LAN
0.01 NPLC內部3050 (2800)2800 (2500)1700 (1600)1650 (1550)
0.01 NPLC外部2300 (2100)2150 (2000)1650 (1550)1600 (1450)
0.1 NPLC內部540 (460)530 (450)470 (410)470 (400)
0.1 NPLC外部500 (420)500 (420)460 (390)450 (350)
1 NPLC內部59 (49)59 (49)58 (48)58 (48)
1 NPLC外部58 (48)58 (48)57 (48)57 (46)

模數轉換,典型值

采樣率分辨率, 位測量到 USB
10 kS/s5?18Up to 10 kS/s
20 kS/s4?16Up to 20 kS/s
50 kS/s4?16Up to 50 kS/s
100 kS/s4?15Up to 100 kS/s
1 MS/s3?12At least 100 kS/s

SCPI 編程,緩沖器為緊湊式

60Hz (50Hz)、SCPI 編程的讀取速率(每秒讀數)

NPLC觸發原點測量到存儲測量到 GPIB/ USB/LAN源、測量 到存儲源、測量到 GPIB/USB/LAN
0.01 NPLC內部3000 (2800)3000 (2790)1700 (1600)1550 (1500)
0.01 NPLC外部2330 (2150)2330 (2150)1650 (1550)1500 (1450)
0.1 NPLC內部540 (460)540 (460)470 (410)460 (400)
0.1 NPLC外部510 (430)510 (430)470 (400)460 (390)
1 NPLC內部59 (49)59 (49)58 (48)58 (48)
1 NPLC外部58 (49)58 (49)58 (48)58 (48)



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