產品概述：
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操作簡易，功能強大
JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。
產品特點：
專為您的需求而設計的熱像儀 | |
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微細結構測量 | |
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標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片 | |
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| 從圖像觀察到元素分析，配合連貫 | |
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維護簡便 工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。 可信賴的真空系統 真空系統使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件，體現了操作穩定，維護簡便的特色。 ?? | |
產品規格：
| 詳細技術指標 | |
| 保證分辨率 | 3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV） |
| 放大倍數 | 5至300,000x |
| 加速電壓 | 0.5kV至30kV |
| 電子槍 | 工廠預對中燈絲 |
| 聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
| 物鏡 | 錐形物鏡 |
| 樣品臺 | 全對中樣品臺 |
| X-Y | 80mm-40mm |
| Z | 5mm至48mm |
| 旋轉 | 360° |
| 傾斜 | －10°至＋90° |
| 排氣系統（高真空模式） | DPx1，RPx1 |
| 排氣系統（低真空模式） | DPx1，RPx2 |
