測量范圍：200mm×100mm
分辨率：0.0002mm
準確度：（1+L/100）μm（其中 L為測量長度，單位：mm）
工作臺
平工作臺尺寸：260mm×270mm
圓工作臺直徑：φ 213mm
圓工作臺角度分劃范圍：0°~ 360°
圓工作臺角度分度值：30"
物鏡
| 總放大率 | 物鏡放大率 | 工作距離 | 物方視場 |
| 1× | 10× | 79mm | Φ20mm |
| 3× | 30× | 69mm | Φ6.6mm |
| 5× | 50× | 49mm | Φ4mm |
主顯微鏡立柱
傾斜范圍：±12°
傾斜角度分度值：30'
測角目鏡
角度分劃范圍：360°
角度分度值：1'
輪廓目鏡
角度分劃范圍：±7°
角度分度值：10'
頂針裝置
夾持長度：700mm
夾持直徑：φ100mm
高頂針架
夾持長度：200mm
夾持直徑：φ250mm
圓分度頭
角度分劃范圍：0°~ 360°
角度分度值：1′
光學定位器
測桿垂直方向擺動范圍：±3°
最小探測孔徑：φ5mm
探測深度：15mm
定位變動性： <1μm
測量力（N）：0.1±0.03
環境要求：室溫20±1℃，相對濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸(mm) :長1300×寬1250×高800
儀器質量：450kg
