JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新機型。
從設定視野到生成報告，用于分析的軟件整合于一體，加快了作業(yè)速度！是一款無縫操作，使用更加方便的掃描電子顯微鏡。
掃描電子顯微鏡JSM-IT500 InTouchScope™的特點及功能介紹：
3個關鍵點 使日常分析更迅速！更簡便！
①關鍵點1 Zeromag
從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松， 多視野連續(xù)分析的位置也很容易。
②關鍵點2 實時分析 (于A/LA)
在圖像觀察過程中，進行EDS分析。
EDS譜圖顯示在觀察窗口中， 如果給感興趣的元素加上alert ，會更容易發(fā)現(xiàn)。
③關鍵點3 數(shù)據集中管理軟件
數(shù)據的查看、再分析以及從SEM圖像到EDS分析的全部數(shù)據報告可以一鍵生成。用數(shù)據管理圖標或者從測試結束的數(shù)據列表中啟動數(shù)據管理窗口并選擇數(shù)據，一鍵就能生成報告。
關鍵點1 Zeromag ～將大視野光學CCD圖像和SEM圖像結合～
直到高倍率觀察的順利操作！
光學CCD圖像和SEM圖像的結合和無縫操作使工作效率大大提高
利用Zeromag能簡便自動地進行大區(qū)域觀察和EDS分析
利用Zeromag設置蒙太奇
蒙太奇結果 4×4 （左：背散射電子成份像 右：Ca元素面分布圖）
樣品：混凝土 加速電壓：15kV 高真空模式 拍攝區(qū)域：約4mm×3mm
利用Zeromag很容易設定大面積的蒙太奇區(qū)域，有利于成像和觀察。蒙太奇功能在斷裂分析和大區(qū)域中識別異物等從大面積區(qū)域上獲取詳細信息時非常有效。
關鍵點2 實時分析～SEM和EDS一體化集成～
利用Live Analysis功能，可在觀察窗口中進行被觀察區(qū)域的EDS分析。可以容易地找到自己感興趣的元素，還能發(fā)現(xiàn)意料之外的元素。
①顯示存在于測試區(qū)域中的主元素。能元素并顯示“Alert”。
②會顯示分析區(qū)域的特征X射線譜圖和自動定性分析結果。
③一鍵點擊就可以在電鏡操作界面和詳細分析顯示界面間切換。
關鍵點3 數(shù)據集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab～無縫創(chuàng)建報告?
SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺位置聯(lián)動的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結果等數(shù)據并快速生成報告的數(shù)據管理器。查看以前獲得的數(shù)據、重新分析，生成報告等都能簡便地進行。
①顯示各個視野的名稱。
②能根據樣品名、創(chuàng)建日期和數(shù)據類型等搜索數(shù)據。
③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個視野的位置。
④會列表顯示被選區(qū)域的元素圖、譜圖等的數(shù)據和定量分析結果等。
技術參數(shù)
分辨率 高真空模式 | 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
低真空模式*1 | 4.0 nm (30 kV BED) |
圖像倍率 | ×5～×300,000 |
顯示倍率 | ×14～×839,724 |
電子槍 | 鎢燈絲 電子槍*自動合軸 |
加速電壓 | 0.3kV～30kV |
低真空壓力設定范圍※1 | 10～650Pa |
物鏡光闌 | ３檔 帶有ＸＹ微調功能 |
自動功能 | 燈絲調整、電子槍合軸調整，聚焦、像散、襯度/亮度調整 |
樣品尺寸 | 200 mm直徑×75 mm高度 |
樣品臺 | 大型全對中式 |
圖像無縫拼接功能 | 標配 |
顯示測試位置座標 | 直徑203 mm |
標準菜譜 | 有（包括EDS條件 ※2） |
圖像模式 | 二次電子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、陰影像*1等 |
獲取圖像的像素數(shù) | 640x480 1,280x960 |
OS | Microsoft®Windows®10 64bit |
顯示器 | 23寸觸摸屏 |
EDS 功能*2 | 譜圖分析、定性分析/定量分析、線分析（水平線分析、任意方向線分析）元素面分布、電子束追蹤等 |
測長功能 | 有（兩點間距離、平行線間距離、角度、直徑等） |
數(shù)據管理功能 | SMILE VIEW™ Lab |
生成報告功能 | SMILE VIEW™ Lab |
語言切換 | 可以在UI 上（日語/ 英語） |
抽真空系統(tǒng) | *自動 TMP：1 臺、RP：1臺或2臺※1 |
備注：Windows10 為美國微軟公司在美國及其它國家的注冊商標或商標
主要選配件
背散射電子檢測器（BED) ※1
低真空二次電子檢測器（LSED)能譜儀(EDS)※2
波譜儀（WDS）
電子背散射衍射檢測器(EBSD)
加載互鎖真空室（預抽室）
樣品臺導航系統(tǒng)（SNS）
樣品室觀察系統(tǒng)(CS)
操作面板
3D測量軟件操作臺
※1 為JSM-IT500LV/LA的標配功能。
※2 為JSM-IT500LV/LA的標配功能。
