深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司Model 730真空電容式壓力計特性·高精度：±0.5% 讀數(shù)·張緊的膜片保證優(yōu)異的性能·工作溫度補償范圍寬·回路噪聲低，響應(yīng)快·不易受環(huán)境條件變化影響·出色的抗過壓設(shè)計·符合 CE 和 RoHS 規(guī)范應(yīng)用·半導(dǎo)體處理室·石化·等離子體滅菌器·真空包裝■ 耐化學(xué)品的 InconelTM 設(shè)計■ 精確的低真空測量■ 專用壓力接頭Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達 ±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計，它能精確測量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。Inconel® 設(shè)計保證通用性所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此對半導(dǎo)體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有*的耐受性。Inconel TM 材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)，確保 730 型在這類應(yīng)用中的長使用壽命。直接壓力測量內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同，730 型測量直接壓力，不受被測混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。耐壓范圍 耐壓（PSIA）所有范圍 45 PSIA
