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TEL CLEAN TRACK ACT8(ACT12)涂膠顯影機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-05-27
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區青島市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量441
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公司主營實驗室分析檢測儀器設備,以實驗室整體建設為發展方向。公司目前涉及電子電器、醫藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環境、科研高校等諸多領域。聯合山東醫藥化工設計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發建立、后期運營管理,形成完整的專業實驗室建設體系,達到一站式服務,為眾多行業客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質譜儀和環境在線檢測。
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日本東京電子公司生產的TEL牌涂膠顯影機CLEANTRACKACT8/12,是有著良好性能和可靠性的半導體微電子生產設備,是可對應200/300mm硅片生產的涂膠顯影設備
TEL CLEAN TRACK ACT8(ACT12)涂膠顯影機 產品詳情

日本東京電子公司生產的TEL牌涂膠顯影機CLEANTRACK ACT8/12,是有著良好性能和可靠性的半導體微電子生產設備,是可對應200/300mm硅片生產的涂膠顯影設備。

半導體制造設備涂膠顯影機,應用于半導體制造的光刻工藝中,是感光劑(photoresist)的涂布(coat)和顯影(develop)的設備。在該設備的涂膠(coat)單元中,硅片上面的感光劑首先被涂布,后被送到曝光設備里,通過光刻機將MASK上面圖形投影到硅片上。

接下來,硅片回到涂膠顯影機的顯影單元中,通過對硅片表面感光膠噴涂顯影液,使被感光部分的感光劑融化,這樣wafer上就出現了凹凸的圖形。經過各種工序重復,最終就形成了細微而復雜的集成電路。

設備各個單元功能說明

 涂膠顯影機各單元功能說明


工藝技術指標與要求:

涂膠膜厚均勻性:3sigma 小于 10nm
顯影條寬均勻性:(0.15μmCD 測試)3sigma 小于 10nm
腔體氨氣濃度:<1ppb(FAB 環境小于 100ppb 條件下)
CHP 熱板(如果有):50~200℃(±0.3℃)
產能:60WPH
與曝光機聯機要求:需與曝光機聯機作業(inline)。


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