電容膜片真空計
Stripe CDG100Dhs 0.1 … 1000 乇/ 毫巴
CDG100Dhs - 100°C - 智能內(nèi)部，快速外部
INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是快速、高度準確的真空測量儀器。響應時間不到 2 ms，配備 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口，開拓了全新的應用領域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有wuyulunbi的零位穩(wěn)定性。Stripe 隨附 INFICON 已獲zhuanli的dute傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stripe 使用創(chuàng)新的加熱概念，提供冰涼的接觸表面和dute的速度性能， 可實現(xiàn)提升shiwuqianli的生產(chǎn)力， 使其成為同類產(chǎn)品中zuixianjin的真空儀器。
好處
高生產(chǎn)力 - 響應時間快于 2 ms
靈活集成 - EtherCAT 現(xiàn)場總線
使用壽命長 - 經(jīng)驗證的陶瓷傳感器
忘記重新校準 - 90ppm/年quanfnagwei穩(wěn)定性
典型應用
原子層沉積
高速過程控制
PVD、CVD、蝕刻
一般高溫真空應用
