標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實驗中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸最小的壓力傳感器。
CYG502的壓力敏感元件采用的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計、從而實現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的化，把整個芯片尺寸縮小到1×1mm大小，而輸出靈敏度仍可達(dá)到100kpa的量程，為超微型傳感器的實現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。
把傳統(tǒng)設(shè)計中的硅–玻璃鍵合改為硅–硅鍵合，改善了熱匹配效果，減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。
目前已面市品種有絕壓型測量模式產(chǎn)品，表壓型正在研制中。
CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф2.15mm，長度為18mm，傳感器的可選量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。
CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此，它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有著相當(dāng)寬的工作溫區(qū)，可達(dá)-55℃～+120℃，也有著非常優(yōu)秀的高頻動態(tài)特性，其量程的敏感元件的固有頻率＞200kHz，上升時間為亞微秒。
1、性能指標(biāo)參數(shù)
| 指標(biāo)/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復(fù)性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出： 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、輸入輸出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、輸入工作電流：1.5mA（表壓型）1mA（絕壓型）（恒流源）
5、工作溫度范圍：-55℃～+120℃
6、補(bǔ)償溫度范圍：-10℃～+80℃
7、過載能力： 額定量程的200%
8、加速度靈敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸圖： CYG502A
