產品描述
MicroXAM-800光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。該系統支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統的相干掃描干涉技術（CSI）。MicroXAM進一步擴展了這些技術，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置，并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。
MicroXAM測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關，因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。MicroXAM的用戶界面創新而簡單，適用于從研發到生產的各種工作環境。
主要功能
針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量
SMART Acquire簡化了采集模式并采用已知的程序設置的測量范圍輸入
Z-stitching干涉技術采集模式，可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面
XY-stitching可以將大于單個視野的連續樣本區域拼接成單次掃描
使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創建，實現了測量位置、調平、過濾和參數計算的靈活性
利用已知技術，從其他探針和光學輪廓儀轉移算法
主要應用
臺階高度：納米級到毫米級的3D臺階高度
紋理：3D粗糙度和波紋度
形式：3D翹曲和形狀
邊緣滾降：3D邊緣輪廓測量
缺陷復檢：3D缺陷表面形貌
工業應用
大學、研究實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED：發光二極管
電力設備
MEMS：微電子機械系統
數據存儲
醫療設備
精密表面
汽車
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