產品描述
P-17臺式探針式輪廓儀是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統業界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
該系統結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。
主要功能
· 臺階高度：幾納米至1000μm
· 微力恒力控制：0.03至50mg
· 樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 軟件：簡單易用的軟件界面
· 生產能力：通過測序，模式識別和SECS/GEM實現全自動化
主要應用
· 臺階高度：2D和3D臺階高度
· 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
· 形狀：2D和3D翹曲和形狀
· 應力：2D和3D薄膜應力
· 缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業應用
· 大學、研究實驗室和研究所
· 半導體和化合物半導體
· LED：發光二極管
· 太陽能
· MEMS：微機電系統
· 數據存儲
· 汽車
· 醫療設備
· 更多信息，請與我們聯系以滿足您的要求
提供選項
P-17 OF（開放式框架）與P-17的功能相同，但其框架更大因而允許加載更大的樣本。該系統可配置成300mm晶圓或240 x 240mm卡盤。
