詳細說明
生產的系列熱工設備：
L4811Ⅱ/RZQ立式真空燒結退火爐
【產品簡介】
真空燒結退火爐是為滿足半導體器件和磁性材料行業的大批量、高生產率的要求而設計的一種較*的燒結設備，主要用于管芯和管座的燒結，也可以做擴散，退火設備用。是生產半導體器件和磁性材料燒結、退火工序中的重要設備。
【產品特點】
●加熱元件均布爐膛內，分布合理；
●爐蓋可設有熱風循環裝置，可使爐罐內的氣氛及溫度均勻；
●可配真空泵抽氣，增加換氣速度，氣氛更純凈；
● 有保護氣氛，經退火后產品無氧化，消除加工應力，提高鐵心磁性能，降低鐵損；
● 爐溫控制采用PID自動調功平滑控溫。
【主要技術指標】
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| 立式真空燒結退火爐 | 雙工位立式真空燒結爐 | 臥式真空燒結退火爐 |
| 工作溫度 | 400--1250℃ | 800--1200℃ | 400--1250℃ |
| 單點溫度控制精度 | ≤±1℃/24h | ≤±2℃/24h | ≤±1℃/24h |
| 恒溫區長度及精度 | ≥200mm±1℃ | ≥400mm±1℃ | ≥400mm±1℃ |
| 升溫功率 | ≤12KVA | ≤22KW | ≤16KVA |
| 升溫時間 | (室溫至1050℃）≤75min | （室溫至1000℃）≤50min | （室溫至1100℃）＜75min |
| 保溫功率 | ≤6KVA | ≤11KVA | ≤8KVA |
| 重新定值重復性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | ≤±1℃ |
| 重開機 重復性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | ：≤±1℃ |
| 冷態 真空度 | 5*10-3Pa | 3*10-3 Pa | 5*10-3Pa |
