一、概述
DZG200工業檢測顯微鏡適用于對工件表面的組織結構與幾何形態進行顯微觀察。采用優良的無限遠光學系統與模塊化功能設計理念，可以方便升級系統，實現偏光觀察、微分干涉觀察等功能，導柱升降裝置，可以快速調整工作臺與物鏡之間的距離，適用于不同厚度工件檢測。調焦機構采用圓柱滾子導向傳動，機構升降平穩。產品適用于精密零件，集成電路，包裝材料等產品檢測。
二、主要技術參數：
基 座 | 花崗巖立柱，穩定性好，不會隨時間溫差而變形 |
立柱 | 花崗巖立柱，穩定性好，不會隨時間溫差而變形 |
光學系統 | 具有諧波分量的無限遠光學系統 |
目 鏡 | 10X大視野廣角目鏡，視場數Ф22mm |
無限遠平場雙覆膜消色差物鏡 | 5X/0.12,工作距離8.4mm |
10X/0.25,工作距離9.3mm | |
20X/0.4,工作距離7.2mm | |
50X/0.7,工作距離2.5mm | |
目鏡筒 | 正像觀察，雙目瞳距調節范圍：53~75mm，可100％推拉攝影 |
調焦機構 | 手動粗微動同軸調焦, *小微動格值:0.002mm,粗動松緊可調,有效調焦范圍0～8mm,軸向平面內的垂直度不大于0.05mm。 |
轉換器 | 五孔明場轉換器（螺紋規格：M26X0.705） |
工作平臺 | 花崗巖平臺 |
*大有效移動范圍：200mmX100mm | |
縱橫向移動垂直度（3+L/200）μm | |
玻璃工作臺面與縱橫向移動平面的平行度在有效觀察范圍內不大于3μm(無負載測量) | |
*大承載重量不大于10千克 | |
導軌 | 線型防錯位精密導軌 |
絲桿 | 精密光桿 |
光柵尺 | 高精密（鑲入式）光柵 |
數據處理器 | 高清視頻采集系統 |
數據處理器，可與計算機并行連接，同步光柵信號輸出 | |
工作電壓：220V 50/60HZ | |
照明裝置 | 落射照明采用12V50W鹵素燈，亮度及中心位置可調 |
落射照明器內置孔徑光闌、視場光闌、濾色片轉換裝置、微分干涉切換裝置，偏光觀察裝置 | |
透射照明采用高亮度白光LED燈，亮度可調 |
