矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件，本底真空可達到10-9 ~ 10-10 Torr量級。在超高真空環境下制備出的薄膜材料含氧量低、晶粒性更為明顯，廣泛適用于超導結、量子器件和自旋電子學的研究開發。
技術參數：
1 本底真空可達10-9 ~ 10-10 Torr；
2 單基片設計，尺寸可定制；
3 基片可旋轉并加熱：300℃/500℃/800℃；
4 最多可拓展8支磁控濺射靶槍，共濺射；
5 靶槍角度可調，濺鍍距離可調，可升級強磁靶；
6 防交叉污染隔板設計；
7 可配備離子束輔助沉積；
8 可配備樣品預清洗功能；
9 可配備快速進樣室；
10 可配備自動壓力控制系統；
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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| 浸漬提拉鍍膜機 垂直提拉機 | 面議 | 北京市 | 北京亞歐德鵬科技有限公司 | 2023-09-26 | 在線詢價 |
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