Park Systems原子力顯微鏡 XE-7
儀器簡介:
的納米領域研究利器。的三軸分離設計，既保證了XYZ三個方向無耦合效應，從原理上消除了平面扭曲誤差；同時獨立的Z軸掃描器，實現了真正的非接觸式掃描，極大地擴展了樣品適用范圍。自上而下的直視光路，方便用戶對探針和樣品的觀察，專門設計的探針安裝方式，簡化了光路調整過程，降低了操作難度。
Park Systems原子力顯微鏡 XE-7技術參數：
掃描器
XY掃描器
柔性制導閉環控制單模塊掃描器
掃描范圍10μm*10μm（可選50μm*50μm ，100μm*100μm）
平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）
Z掃描器
柔性制導強力掃描器
掃描范圍12μm（可選25μm）
共振頻率：>5kHz
表面成像噪聲：0.03nm
樣品臺
樣品尺寸： 100mm*100mm*20mm
樣品重量：zui大500g
樣品臺移動范圍：13mm*13mm
主要特點：
一、精確的XY方向掃描，消除了交叉耦合誤差
●使用獨立的閉環XY平板式掃描器和Z軸掃描器
●平板式的掃描掃描器，殘留彎曲誤差極小
●整個掃描范圍內的水平線性誤差小于2nm
●精確的高度測量
二、Non-Contact™(真正非接觸) 模式能夠延長針尖壽命，提供高分辨率及保護樣品
●Z伺服速度是壓電陶瓷管的10倍
●非接觸模式可降低針尖磨損、延長使用壽命
●成像分辨率優于同類原子顯微鏡
●增強樣品兼容性，提高掃描精度
三、zui豐富的功能拓展
●支持多種SPM模式
●支持多種選配測量模式
●支持各種可選配件，擴展性能*
四、zui為便利的使用設計
●開放式樣品空間，提高樣品及針尖更換效率
●預對準針尖安裝和同軸直視光路直觀地實現激光對準
●燕尾鎖方便掃描頭拆卸
