SS300大型鎢燈絲掃描電鏡是一款高性能鎢燈絲掃描電鏡，采用全自動(dòng)樣品臺，配備倉內(nèi)紅外CCD攝像頭，有效監(jiān)控倉內(nèi)樣品，防止樣品與極靴碰撞。
分辨率：3nm (30kV,SE); 5nm(10kV,SE); 8nm(3kV,SE); 4nm(30kV,BSE)
放大倍數(shù)：4x ～ 300,000x，連續(xù)可調(diào)
加速電壓：0~30kV ，連續(xù)可調(diào)
檢測器：二次電子圖像(SE) ，背散射檢測器(BSE)，紅外CCD攝像頭
電子槍：翻開式預(yù)對中鎢燈絲，探針束流范圍：1pA~2000nA，帶束流測量功能
透鏡系統(tǒng)：多級高性能錐形透鏡系統(tǒng)
擴(kuò)展接口：樣品室提供不少于6個(gè)可擴(kuò)展接口，可外接各類附件和探測器（例如EDS/EBSD/EBIC/CL等）
樣品臺：五軸全自動(dòng)樣品臺同，配備氣浮減震系統(tǒng)；承重2kg
樣品臺行程：X=70mm,Y=50mm,Z=50mm，R=360°, T=-10°～+70°
樣品尺寸： 220mm(Diameter) / 50mm(Height)
軟件控制：可自動(dòng)對焦、對中、消像散，圖像測距功能，添加尺寸、標(biāo)注，計(jì)算周長、面積，標(biāo)注箭頭、角度等
圖像存儲格式：BMP, JPEG, PNG, TIFF
真空系統(tǒng)：渦輪分子泵+機(jī)械泵；樣品室真空度優(yōu)于6E-4 Pa，含真空測量與顯示設(shè)備，全自動(dòng)真空控制，抽真空時(shí)間小于5分鐘
操控系統(tǒng)： DELL工作站，其配置不低于：5 四核3.2GHz，HD顯卡530；DDR4 8G內(nèi)存；24"液晶顯示器；500G高速硬盤；光電鼠標(biāo)，鍵盤，軌跡球
尺寸：電子光學(xué)鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)
安裝環(huán)境: 溫度15℃~30℃，濕度，小于75%
電源， 200~240V AC, 1KW, 50/60Hz
能譜儀參數(shù)：
品牌型號：Oxford 30
大面積電制冷能譜儀1臺
該能譜儀為分析型SDD硅漂移電制冷探測器，具有50mm²晶體面積，30mm²有效面積，高分子超薄窗設(shè)計(jì)，無需液氮冷卻，僅消耗電能。
能量分辨率：Mn_Ka處優(yōu)于129eV，符合ISO 15632:2012標(biāo)準(zhǔn)
元素分析范圍: B5～Cf98
具備零峰修正功能，可以快速穩(wěn)定譜峰，開機(jī)后無需重新修正峰位。
元素面分布圖分辨率達(dá)4096*4096像素；可從面分布圖上進(jìn)行譜圖重建。
離子濺射儀參數(shù)：
濺射方式：磁控濺射
可選靶材金、鉑、金鈀合金、銀鉛、銅、鉻、銻等
彩色液晶屏顯示，屏幕不小于5英寸；
濺射電流不小于30mA，最小濺射電流不大于3mA，步進(jìn)量為1mA;
最長濺射時(shí)間不小于900秒；
具備電流保護(hù)和真空保護(hù)功能，在電流過大、真空度較差時(shí)保證設(shè)備安全；
極限真空優(yōu)于1Pa；
真空室采用高硅片玻璃φ128×100mm；
可實(shí)時(shí)顯示靶材使用時(shí)間和設(shè)備工作時(shí)間；
可用實(shí)時(shí)曲線顯示濺射電流和真空度。
附件：
配備預(yù)對中鎢燈絲10根，
雙面導(dǎo)電膠3卷，
樣品臺20個(gè)，
真空脂1盒，
拋光膏1管，
機(jī)械泵油1桶；
附贈(zèng)電鏡專用工具箱1個(gè)，含鑷子、六角扳手、一字改錐、墊片等專業(yè)工具用于掃描電鏡的安裝和維護(hù)。
