Transpector MPH 殘余氣體分析儀
監控您的過程
的性能有助于提高產量并實現最長運行時間
持續升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此，在半導體制造中心了解過程并監測缺陷也變得更加重要。Transpector
MPH 氣體分析系統專門用于讓您的系統在所有氣體分析應用中都實現業內的性能，有助于限度地提高芯片產量，降低工具停工時間。Transpector MPH
兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時間的特性，有助于讓您的盈虧底線優于市場上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON
發揮其在氣體分析過程控制設備領域的專長，制造的 RGA 擁有業內的數據采集速度、可檢測分壓和最小的信噪比。所有這些特性都不會犧牲 INFICON
Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
功能
- 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點數據率
- TCP/IP 以太網連接
- 雙絲極
- 可現場更換電子倍增器
- 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
- 較短的傳感器可降低安裝占地面積
- 九個數量級的動態量程
- <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號)
- 信噪比更高
- 可調換傳感器和電子元件
- 傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝
- 符合 RoHS 標準
規格
| 類型 | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 傳感器長度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 質量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
| 檢測器類型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
| 靈敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
| 靈敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
| 最小可檢測分壓 | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
| 傳感器工作溫度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
| 傳感器工作溫度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
| 絲極類型選件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
| 絲極類型選件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
| 分辨率（整個質量范圍內） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
| 溫度系數 | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |
| 每點數據率 | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | |
| 零沖擊（@ 質量 2） | <5 ppm | <5 ppm | <65 ppm | <65 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| 工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| 烘烤溫度 | °C°F | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 |
| 功率輸入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | |
(1) 用于普通應用
(2) 用于鹵素環境應用
(3) 位于峰值高度的 10%
