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EH 機械增壓泵

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  • 型號
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  • 所在地
  • 更新時間2023-02-13
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區深圳市
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  • 產品數量107
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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術開發、應用與貿易于一體的專業公司。產品廣泛運用于真空行業、鍍膜、太陽能、半導體、科學研究、電力行業、航空航天、*制造等領域。作為多家的真空設備及真空儀器供應商的代理商,我們可以為客戶提供較佳的全套真空解決方案,解決客戶真空應用的難題,并且使客戶的成本降到低。我們代理銷售的產品如下:

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EH 機械增壓泵Edwards EH 機械增壓泵采用的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間市場價: 0.00價格:0.00型號: ......
EH 機械增壓泵 產品詳情

Edwards EH 機械增壓泵采用的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間

概述

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。


應用

半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優勢

適用于在 0.01 50 mbar/0.0075 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

*的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到。

軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的。

技術參數:

 型號
EH250 EH500 EH1200 EH2600 EH4200
排量(工作容積) 310 m3h-1/ 185 ft3min-1 505 m3h-1/ 300 ft3min-1 1195 m3h-1/ 715 ft3min-1 2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1 4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1
使用前級泵時的有效抽速 240 m3h-1/ 141 ft3min-1 350 m3h-1/ 206 ft3min-1 840 m3h-1/ 495 ft3min-1 1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1 3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1
泵的壓力差 0-180 mbar/0-140 Torr 0-110 mbar/0-83 Torr 0-90 mbar/0-68 Torr 0-80 mbar/0-60 Torr 0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接 ISO63 ISO100 ISO160 ISO160 ISO250
出口連接 ISO40 ISO63 ISO100 ISO100 ISO100
轉速 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm
連續進氣口工作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr
出口壓力 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵 GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 GV80,E2M80 GV160、GV250、 GV250、GV400、 GV400、E2M275
E2M80、E2M175 E2M175、E2M275
電機功率
碳氫化合物 2.2 kW / 3 hp 2.2 kW/3 hp 3 kW/4 hp 11 kW/15 hp 11 kW/15 hp
PFPE 1.5 kW / 2 hp 1.5 kW/2 hp 3 kW/4 hp 7.5 kW/10 hp 11 kW/15 hp
ATEX 2.2 kW 2.2 kW 3 kW 11 kW 11 kW
防爆 3 hp 3 hp 4 hp 15 hp 15 hp
環境溫度范圍
工作 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F
存儲 -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F
工作濕度 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH
推薦用油 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20
油容量
齒輪箱 1.25 l/1.3 qt 3.5 l/3.3 qt 3.5 l/3.3 qt
聯軸器蓋 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 6.5 l/7 qt 6.5 l/7 qt
軸封儲油器 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 1.5 l/1.4 qt 1.5 l/1.4 qt
重量 61 kg/134 lb 74 kg/163 lb 74 kg/163 lb 308 kg/679 lb


關鍵詞:標準
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