在需要無油泵時，XDS渦旋式干泵可出色地替代旋片泵。XDS渦旋式干泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，特別是采用了創新的軸承護罩，將真空環境與各種潤滑劑隔離開，使之不僅干燥， 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調氣囊實現；這使該系列的泵能夠應用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應用場合。
XDS系列渦旋式干泵具有創新的軸承護罩設計，可將真空環境與所有形式的潤滑劑隔離開來，使之不僅干燥，而且密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。
氣囊允許處理蒸汽，將應用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅動裝置控制著電機特性，可確保泵總是以轉速運轉。
應用
分析儀器
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
渦輪分子前級泵
超高速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環
稀有氣體回收
冷凍制造
研發
旋轉離心蒸發器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學儀器
特點及優勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可保證的清潔和干燥真空，防止交叉污染 技術數據 XDS5 XDS10 XDS35i 排量 50Hz 5.7 m3h-1 / 3.4 ft3min-1 11.3 m3h-1 / 6.7 ft3min-1 43 m3h-1/ 25 ft3min-1 60Hz 6.7 m3h-1 / 4.0 ft3min-1 13.4 m3h-1 / 7.9 ft3min-1 43 m3h-1/ 25 ft3min-1 峰值抽速1 50Hz 4.8 m3h-1 / 2.8 ft3min-1 9.3 m3h-1 / 5.5 ft3min-1 35 m3h-1/ 21 ft3min-1 60 Hz 6.0 m3h-1 / 3.5 ft3min-1 11.1 m3h-1 / 6.5 ft3min-1 35 m3h-1/ 21 ft3min-1 極限真空（總壓力） 1 x 10-2mbar / 8 x 10-3Torr 50Hz 7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr 7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr 60 Hz 6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr 6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr 水蒸汽的進氣口壓力 50 mbar/38 Torr 35 mbar/23 Torr 35 mbar / 23 Torr 水蒸汽抽速– GB I 70 gh-1 70 gh-1 70 gh-1 水蒸汽抽速– GB II 200 gh-1 200 gh-1 240 gh-1 允許的出口壓力 1 bar 表壓/14 psig 1 bar 表壓/14 psig 0.2 bar gauge / 2.9 psig* 允許的進氣口和氣鎮壓力 0.5 bar 表壓/7 psig 0.5 bar 表壓/7 psig 0.5 bar gauge / 7 psig 電機功率（1 相和3 相） 0.3kW 0.3kW 0.52 kW 電源連接器（1 相） IEC EN60320 C13 IEC EN60320 C13 IEC EN60320 C19 標稱旋轉速度50/60 Hz 1500/1800 rpm 1500/1800 rpm 1750 rpm 重量 23 kg/51 lb 24.5 kg/54 lb 48 kg/105 lb 進氣口法蘭 NW25 NW25 NW40 排氣口法蘭 NW25 NW25 NW25 噪音級別 50 Hz 時55 dBA 50 Hz 時55 dBA 57 dB(A) 振動 <4.5 mms-1 (rms) <4.5 mms-1 (rms) <4.5mms -1 (rms) 密封性（靜態） <1 x 10-6 mbar ls-1 <1 x 10-6 mbar ls-1 <1 x 10-6 mbar ls-1 工作溫度范圍 10 至40 °C/50 至104 °F 10 至40 °C/50 至104 °F 10 至40 °C/50 至104 °F
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz
