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真空磁場探針臺半導體測量設備

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  • 型號
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  • 所在地
  • 更新時間2023-02-28
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區北京市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量706
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配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。
真空磁場探針臺半導體測量設備 產品詳情
高低溫真空磁場探針臺
產品概述:錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環境的高精度實驗臺,它的諸多設計都是專用的。因此,高低溫磁場探針臺的配置主要是根據用戶的需求進行選配及設計。例如,要求的磁場值,均勻區大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等,均于磁力線在一定區域內產生的磁通密度相關聯;位移臺還可與磁流體密封搭配,實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動;除此之外,該探針臺和我司自主研發的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶,可以磁場的高穩定性。因此,該類型的探針臺主要依據客戶的使用情況進行設計優化。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個(可選6個或8個)擁有高精度位移的探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。
應用范圍:

磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試,微電子機械系統,超導電性測試,納米電路的光電屬性,量子點和線,高低溫真空環境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運特性等。

可選附件:

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

t CCDC-MOS視頻成像裝置

t Chuck運動裝置

t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

t 1Mpa正壓系統升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉接頭

t 真空泵

技術指標:

高低溫真空磁場探針臺

型號

T8-EM4

T8-EM5

T8-EM7

真空度

真空上等高達10-8Pa

腔體材質

無磁不銹鋼或者鋁合金

磁場范圍

2000Gs @50mm

5000Gs@50mm

1T@50mm

磁場方向

水平(可按用戶要求設計成豎直方向的)

配套電源

雙極性電源±50A

雙極性電源±70A

雙極性電源±90A

電源穩定性

50ppm(可選10ppm

制冷方式

液氦/液氮制冷/閉循環制冷機

溫度范圍

5K-325K可選500K

控溫分辨率

0.001K控溫儀相關

溫度穩定性

優于0.1K依賴于控溫儀

溫度傳感器

硅二極管/PT100/CernoxTM

傳感器數量

樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個

樣品臺尺寸(max

Φ50mm,平整度≤7μm

樣品臺固定方式

真空硅脂/彈簧壓片

樣品臺材質

鍍金無氧銅

顯微鏡行程

X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm

放大倍數

16~100X/20~4000X

真空腔觀察窗尺寸

1inch

1.5inch

2inch

窗口材料

熔融石英(可選K9、氟化鈣等)

探針臂數量

24、6、8可選

探針臂行程

(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換

位移精度

10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

接口形式

普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA

探針直徑

0.51mm

針尖直徑

10μm/5μm/1μm可選

探針材料

/GGB

供電電壓

AC220V 50Hz/60Hz

AC380V 50Hz/60Hz

注:北京錦正茂科技有限公司接受任何形式的定制,精度高,周期短

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