高低溫真空磁場探針臺
產品概述：
高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環境的高精度實驗臺，它的諸多設計都是的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據用戶的需求進行選配及設計。例如，要求的磁場值，均勻區大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區域內產生的磁通密度相關聯；位移臺還可與磁流體密封搭配，實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動；除此之外，該探針臺和我司自主研發的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩定性。因此，該類型的探針臺主要依據客戶的使用情況進行設計優化。
探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。
應用范圍：
磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試，微電子機械系統，超導電性測試，納米電路的光電屬性，量子點和線，高低溫真空環境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統
t 1Mpa正壓系統升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉接頭
t *真空泵
技術指標：
高低溫真空磁場探針臺 型號 T8-EM4 T8-EM5 T8-EM7 真空度 上等高達真空10-8Pa 腔體材質 無磁不銹鋼或者鋁合金 磁場范圍 2000Gs @50mm 5000Gs@50mm 1T@50mm 磁場方向 水平（可按用戶要求設計成豎直方向的） 配套電源 雙極性電源±50A 雙極性電源±70A 雙極性電源±90A 電源穩定性 50ppm（可選10ppm） 制冷方式 液氦/液氮制冷/閉循環制冷機 溫度范圍 5K-325K可選500K 控溫分辨率 0.001K控溫儀相關 溫度穩定性 優于0.1K依賴于控溫儀 溫度傳感器 硅二極管/PT100/CernoxTM 傳感器數量 樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個 樣品臺尺寸（max） Φ50mm，平整度≤7μm 樣品臺固定方式 真空硅脂/彈簧壓片 樣品臺材質 鍍金無氧銅 顯微鏡行程 X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm 放大倍數 16~100X/20~4000X 真空腔觀察窗尺寸 1inch 1.5inch 2inch 窗口材料 熔融石英（可選K9、氟化鈣等） 探針臂數量 2、4、6、8可選 探針臂行程 (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換 位移精度 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 接口形式 普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA等 探針直徑 0.51mm 針尖直徑 10μm/5μm/1μm可選 探針材料 鎢/GGB 供電電壓 AC220V 50Hz/60Hz AC380V 50Hz/60Hz
