DyMaxion RGAs有一系列可選擇離子源(開放式,封閉式,流導(dǎo)限制式)和AMU范圍(1-100,1-200,和1-300)。零點(diǎn)漂移電子倍增器技術(shù)使儀器可以提供可重復(fù)的數(shù)據(jù),而不必和檢測器的電子元件相匹配。內(nèi)在診斷功能保證了數(shù)據(jù)的完整性。
概述
DyMaxion RGAs有一系列可選擇離子源(開放式,封閉式,流導(dǎo)限制式)和AMU范圍(1-100,1-200,和1-300)。零點(diǎn)漂移電子倍增器技術(shù)使儀器可以提供可重復(fù)的數(shù)據(jù),而不必和檢測器的電子元件相匹配。內(nèi)在診斷功能保證了數(shù)據(jù)的完整性。應(yīng)用領(lǐng)域包括殘氣分析,檢漏,薄膜沉積,蒸發(fā),分子束外延,等離子刻蝕,離子培植,高能物理,化學(xué)氣相沉積,發(fā)酵,濺射,低溫學(xué),真空爐,離子束處理,大氣取樣,和廢氣分析。
該儀器的特點(diǎn)包括:
占空間小的只能傳感器
離子源的選擇
CVD和大氣樣品應(yīng)用的封閉離子源
PVD應(yīng)用的流導(dǎo)限制式離子源
UHV應(yīng)用的開放離子源
100, 200, 和300 AMU 范圍
可選擇模擬或數(shù)字I/O
零點(diǎn)漂移電子倍增器技術(shù)
內(nèi)在診斷
RS-232 和 RS-485 通信端口