SEMILAB壽命測量裝置WT-2000MCT

SEMILAB壽命測量裝置WT-2000MCT

壽命測定裝置WT-2000（μPCD載體壽命）,壽命測量裝置WT-2000MCT,SPV設備FAaST 310/210 SPV,FAaST 350 DSPV,載流子壽命測定裝置WT-2000/2A

產品介紹

壽命測量裝置 WT-2000 是一個功能強大的臺式測量平臺，能夠執行許多不同的半導體材料表征。基本系統包括執行表征所需的所有間接功能，包括電源、計算機、操作軟件和 XY 測量臺。該系列通常用于創建地圖，在地圖上使用可編程光柵掃描晶圓。WT-2000 還允許在特定的可編程位置進行測量。除了硅，SEMILAB 還經營使用短波長激發激光的寬禁帶半導體（SiC、GaN）的壽命測量設備。

WT-2000MCT 專為不同樣品溫度下的 µ-PCD 壽命測量而設計。

除了硅，SEMILAB 還經營使用短波長激發激光的寬禁帶半導體（SiC、GaN）的壽命測量設備。

FAaST 310/210 SPV 裝置在適合研發和小批量制造環境的設計中提供快速、全晶圓污染成像。

FAaST 330/230 DSPV 裝置可對重金屬污染進行非接觸式高速在線監測。可以進行晶圓處理。

FAaST 350 DSPV 裝置是重金屬污染非接觸式高速監測旗艦平臺。能夠檢測低于 10 8 個原子/ cm -3的鐵并從雙 FOUP 裝載端口裝載站自動處理晶圓，它能夠支持苛刻的大批量生產環境。

WT-2000 是中型制造工廠和實驗室的推薦裝置。