液體流量計UCUF-E系列東京計裝TOKYOKEISO

液體流量計UCUF-E系列東京計裝TOKYOKEISO

液體超聲波流量計UCUF-E系列，UCUF-K系列

產品介紹

UCUF-E系列液體超聲波流量計專為測量超純水和各種化學液體的小流量而設計，由UCUF-E型檢測器和SFC型轉換器組成。
UCUF 型檢測器的所有接液部件均采用半導體行業用 PFA 制成，沒有活動部件，也沒有
O 形圈等容易積液的機械密封。由于其理想的清潔結構，該流量計非常適用于要求高清潔度的過程，例如半導體設備。
SFC 型轉換器極大地降低了流體中含有的氣泡的影響，這曾經是半導體工藝、化學液體工藝等中的一個問題。配備消除流體動力粘度影響的修正功能，支持各種類型的化學品。通過 RS485 通信功能可以集中控制過程。

特征

EMC標準：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 標準

采用帶連接器結構的可拆卸傳感器電纜

測量運動粘度高達 40 mm2/s 的高粘度流體

指示值±1%以內的精度（流速1m/s以上時）

寬量程（100:1 典型值）

具有理想清潔結構的探測器

耐腐蝕且易于安裝

主要用途

半導體制造過程中純水和超純水的流量測量

各種藥液注入工藝的流量測量

強腐蝕性液體的流量測量

CMP 漿料流量測量

其他中小口徑過程液體流量測量

適用于清洗設備和 CMP 設備的流量測量和控制

UCUF-K系列液體超聲波流量計是為測量超純水和各種化學液體的小流量而設計的，由UCUF-K型檢測器和SFC型轉換器組成。UCUF 型檢測器的所有接液部件均采用半導體行業用 PFA 制成，沒有活動部件，也沒有 O 形圈等容易積液的機械密封。由于其理想的清潔結構，該流量計非常適用于要求高清潔度的過程，例如半導體設備。

特征

EMC標準：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

符合 RoHS 標準

測量運動粘度高達 40 mm2/s 的高粘度流體

指示值±1%以內的精度（流速1m/s以上時）

寬量程（100:1 典型值）

具有理想清潔結構的探測器

耐腐蝕且易于安裝

主要用途

半導體制造過程中純水和超純水的流量測量

各種藥液注入工藝的流量測量

強腐蝕性液體的流量測量

CMP 漿料流量測量

其他中小口徑過程液體流量測量

適用于清洗設備和 CMP 設備的流量測量和控制