JSM-IT800 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡 JSM-IT800具備高分辨觀察和高速元素面分析，能夠滿足客戶的各種需求。該裝置配備浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍、新一代電子光學控制系統(tǒng)Neo Engine、一體化EDS、易用的操作導航SEM Center、及可置換的物鏡模塊。
主要參數
JSM-IT800 SHLversion | JSM-IT800 HLversion | |
分辨率 (1 kV) | 0.7nm | 1.3nm |
分辨率 (15 kV) | 0.5nm | - |
分辨率 (20 kV) | - | 0.7nm |
加速電壓 | 0.01 - 30 kV | |
檢測器 | 二次電子檢測器（SED） | 二次電子檢測器（SED） |
高位混合檢測器（UHD） | 高位電子檢測器（UED） | |
電子槍 | 浸沒式schott-plus場發(fā)射電子槍 | |
入射電流 | 數 pA - 500 nA (30 kV) | 數 pA - 300 nA (30 kV) |
數 pA - 100 nA (5 kV) | 數 pA - 100 nA (5 kV) | |
物鏡 | 超級混合物鏡SHL | 混合物鏡HL |
樣品臺 | 全對中馬達驅動樣品臺 | |
樣品臺行程 | X: 70 mm， Y: 50 mm， Z: 2～41 mm，傾斜：-5～70o， 旋轉：360o | |
EDS能譜儀 | 能量分辨率133eV以下， 檢測元素B-U， 60mm2大面積檢測器 | |
主要的選配件
高位電子檢測器 (UED)
背散射電子檢測器 (BED)
閃爍體背散射電子檢測器（SBED)
多用途背散射電子檢測器（VBED)
透射電子檢測器（TED)
低真空 （含低真空背散射電子檢測器LVBED)
低真空二次電子檢測器 (LVSED)
電子背散射衍射 (EBSD)
波譜儀 (WDS)
軟X射線分光器 (SXES)
探針電流檢測器
樣品臺導航系統(tǒng)
樣品室相機
操作桌
操作面板
LIVE-AI過濾器ー
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