Seya Namioka 結(jié)構(gòu)真空紫外光譜儀
Seya Namioka 結(jié)構(gòu)采用一片凹面光柵完成衍射與成像，包含角約70°。單反射面具備較低反射損失，最短適用波長(zhǎng)可達(dá)30nm。儀器可配置入射、出射狹縫構(gòu)成單色儀，采用全息校正光柵或非球面光柵進(jìn)行像場(chǎng)校正時(shí)可搭配CCD等平面探測(cè)器使用。
圖1 234/302 光譜儀的多種配置
234/302型200mm焦距S-N結(jié)構(gòu)光譜儀是McPherson的真空紫外光譜儀，目前更新為型號(hào)Monarch。光譜儀具備200mm焦距、F/4.5相對(duì)口徑，最短適用波長(zhǎng)可達(dá)30nm、分辨率0.1nm。234/302 配備IV類(lèi)像差校正的光柵，可作為掃描單色儀使用，也可配接CCD相機(jī)等多通道探測(cè)器作為光譜儀使用；支持雙光柵塔輪、雙入口或雙出口切換、雙級(jí)聯(lián)單色儀等擴(kuò)展。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)支持1E-6 Torr 高真空，另可選擇不銹鋼腔體的超高真空型號(hào)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
l IV類(lèi)像差校正，可搭配CCD或MCP
l 200mm焦距，F(xiàn)/4.5大口徑
l 靈活配置及選項(xiàng)：雙光柵塔輪，多出（入）口，超高真空
主要參數(shù)
光學(xué)設(shè)計(jì) | 像差校正Seya-Namioka，32°入射角 |
焦距 | 200mm |
相對(duì)口徑F/No. | 4.5 |
波長(zhǎng)范圍 | 30nm ~ 550nm，取決于光柵 |
波長(zhǎng)準(zhǔn)確度 | ±0.1nm（1200g/mm光柵） |
波長(zhǎng)可重復(fù)性 | ±0.05nm（1200g/mm光柵） |
狹縫 | 0.01 - 3mm連續(xù)可調(diào) |
真空度 | 1E-6 Torr；可選UHV |
焦平面 | 25mm 寬 |
光柵選型表
刻畫(huà)密度 (g/mm) | 2400 | 1200 | 600 | 300 |
分辨率 (nm,FWHM) | 0.05 | 0.10 | 0.2 | 0.4 |
色散 (nm/mm) | 2 | 4 | 8 | 16 |
波長(zhǎng)范圍 (nm) | 225 | 550 | 1100 | 2200 |
優(yōu)化波長(zhǎng) (nm) | 80 | 140 | 140 | 140 |
140 | 300 |
光譜示例
圖2 采用不同光柵獲取的He-Ne混合空芯陰極燈光譜
典型應(yīng)用
l 真空紫外發(fā)光與激光
l 真空紫外可調(diào)單色光源
l 等離子體光譜診斷
l 紫外光電子能譜
更多型號(hào)產(chǎn)品
面向更高分辨率的需求，McPherson可提供500mm、1000mm長(zhǎng)焦距的S-N結(jié)構(gòu)光柵光譜儀，分辨率分別達(dá)到0.025、0.05nm。
圖3 Model 235（左，500mm焦距）、Model 231（右，1m焦距）S-N結(jié)構(gòu)VUV光譜儀
