美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保
持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種
流量測控場合。
應用及案例
● 大學/研究所
● 泄漏檢測
● 環境監測
● 真空行業及鍍膜
● 工業爐窯
● 半 導 體
● 汽車制造
● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：可優于0.5%
● 可測范圍廣，0.01~99%
● 滿量程超低壓損為360Pa
● 響應時間快，優于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
精度升級
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度        ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）
質量流量高精度           ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）
重復性                         ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數 / ℃溫差± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差
性能指標
介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類    內置了98種氣體，請參考背面
                 一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
測量范圍    0.01～99%
顯示流量    128%滿量程
顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精       度    ± （0.8%讀數 + 0.2%滿量程）見上段精度升級部分
                  ± （0.4%讀數 + 0.2%滿量程）（可選）
累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重  復  性    ±（0.2%讀數+0.02%滿量程）
質量流量溫度漂移    0.03%滿量程當溫度從25℃起每變化1℃
質量流量壓力漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar
響應時間    優于10 ms
預熱時間    < 1 s
標定工況    25 ℃&1 Atm（可現場在測量范圍內隨意更改）
工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度    ± 0.75 ℃
工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口允許瞬時壓差70 Kpa
操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度    ±0.5%讀數（讀數＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損    參考詳細壓損表
數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；
                        模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率    10 Hz
數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓    7 - 30 VDC（如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）
供電電流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材       質    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁
過程連接    詳情參考壓損表
安裝方式    對位置無要求
防護等級    IP40
認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
選項配件
●標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入 (僅用于質量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質量流量控制器)
可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可測量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
 
●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
ProfiBUS數字信號輸入(僅用于質量流量控制器)
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出 (僅用于質量流量計)
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質量流量控制器)
產品大圖