ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列316L
量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優于1 %的精度，控制范圍廣，優于100 ms 響應時間
美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力
● 可選高精度：優于0.5%
● 可測范圍廣， 1~99%
● 響應時間快，優于100 ms
● 內置130種常規及腐蝕性氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
性能指標
介質要求 潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質種類 內置了130種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）
測量和控制范圍 1～99%
顯示流量 128 %滿量程
可控流量 102.4 %滿量程
顯 示 屏 帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程）（可選）,僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復 性 ± 0.2 %滿量程
零點漂移 & 滿量程漂移 0.02% 滿量程 / ℃ / Atm
響應時間 優于100 ms
預熱時間 ＜ 1 s
標定工況 25 ℃ & 1 Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 99%，無冷凝
工作壓力 1 MPa 表壓
操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4–20 mA ）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM（Kalrez），可根據特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
