1.設備名稱：
常溫SF6氣體針板放電試驗裝置
2.設備功能：
在真空條件下，注入低氣壓試驗SF6氣體，然后施加設定的高電壓，實現針板電暈放電。內部垂直方向安裝了針板放電電極組，針電極在上通過腔體上部的真空高電壓絕緣子引入高電壓，板電極在下通過專門設計的地電極接地，板電極在垂直方向高低可調。充氣過程的充氣壓力可以實現高精度調節。裝置集成在一個移動小車上，方便使用和搬運。
3.設備特點：
①.設備具有一個高壓腔體，腔體容積約10L。采用了上下平蓋封頭的臥式結構腔體。沿圓周方向設置了2個互相垂直的石英玻璃視鏡，方便觀察和攝像。設置了一個手孔開門，采用門軸式開門機構。腔體上方有高電壓引入的絕緣子，引入電壓100KV。裝置配置了油封旋片式雙級真空泵，并安裝了電阻真空規、低氣壓壓力數字壓力表、正壓壓力數字壓力表以滿足不同試驗氣壓值分段的高精度測量。腔體內部進行了拋光處理。腔體分別連接了真空抽氣通路和工藝氣體的充氣通路。
②.內部板電極運動機構采用了絲杠螺母式調節方式。通過精密加工和在軸向以及旋鈕圓周的高精度刻度線，可以實現針板距離調節滿足Z小0.1mm移動精度。
③.為了滿足高精度的充氣氣壓要求，充氣過程通過一組三個高精度真空微調閥來進行。通過微調閥開度的控制可以將充氣壓力過程的控制精度到2Pa，有效地防止了過充造成的試驗數據不穩定。另外試驗過程可能采用多元混合氣體，所以裝置安裝了三個真空微調閥以滿足同時對不同氣體進行充裝作業。
④.系統抽氣泵配置了油封旋片式雙級真空泵，介質氣體采用了瓶裝氣體。
⑤.設備充抽氣管路的通斷和切換均采用了手動真空壓力球閥，既可以實現真空下的嚴格密封也可以適應較高氣壓下的嚴格密封。
⑥.腔體通過特殊設計的圓形底座安裝于移動小車之上。
4.設備主要性能：
①.真空性能
真空：0.2Pa
設備總體漏率：2×10-5Pa·m3/s
②.正壓試驗壓力
壓力：0.6MPa
正常試驗壓力：0.4MPa
③.接入電壓
100KV
④.針板距調節
調節范圍：60mm
調節精度：0.1mm
