高畫質的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質量更進一步。
通過高畫質提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學系統, 可實現實時立體成像的“實時立體觀察功能”＊1, 以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”＊1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標準。
*1：自選
特點 |
· 低加速電壓觀察時分辨率更高，可更好地觀察樣品最表面的細微形狀和更有效地降低樣品的損壞
· 全新設計的電子光學系統和信號處理技術實現了高速掃描和低噪音的觀察
· 和以前的常規掃描電子顯微鏡相比＊2，自動功能縮短＊3了大約11秒
· 具有在低真空時可以非常好地觀察樣品最表面的細微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測器）”＊4
· 具有實現了實時立體成像的“實時立體觀察功能”＊4
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根據觀察條件的不同，時間會有變動
（*4）：自選
規格
項目 | 描述 | |
二次電子分辨率 | 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式） | |
7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式） | ||
背散射電子分辨率 | 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式） | |
10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式） | ||
放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） | |
7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6） | ||
加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
可變壓力范圍 | 6 - 650Pa | |
樣品尺寸 | 直徑 200mm | |
樣品臺 | X | 0 - 100mm |
Y | 0 - 50mm | |
Z | 5 - 65mm | |
R | 360° | |
T | -20° - 90° | |
可觀察區域 | 直徑 130mm （旋轉并用） | |
樣品高度 | 80mm（WD=10mm） | |
馬達臺 | 5軸標配 | |
電子光學系統 | 電子槍 | 預對中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動光闌 | |
探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 | |
高靈敏度半導體背散射電子檢測器 | ||
EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） | |
圖像顯示 | 操作系統 | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
圖像顯示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） | |
小屏模式（800 × 600 像素） | ||
雙圖像顯示（800 × 600 像素） | ||
四屏幕顯示（640 × 480像素） | ||
信號混合模式 | ||
排氣系統 | 操作 | 全自動排氣 |
渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
機械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
（*2）：以127mm×95mm（圖像尺寸4"×5"）的顯示尺寸規定倍率
（*3）：以345mm×259mm（像素1,280×960）的顯示尺寸規定倍率
（*4）：Windows®是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標
