| 主要參數(shù) | |||
| 外形尺寸 | 420(L)×330(D)×335(H) mm | 操作界面 | 7 英寸觸摸屏、全數(shù)字顯示 |
| 蒸發(fā)源 | 高純碳纖維（φ0.8mm） | 蒸發(fā)源數(shù)量 | 4 根 |
| 蒸發(fā)模式 | 連續(xù)蒸發(fā)、脈沖蒸發(fā) | 工作模式 | 全自動(dòng)、手動(dòng) |
| 預(yù)熱除氣 | 有 | 除氣擋板 | 全自動(dòng) |
| 真空泵 | 旋片式真空泵 | 真空泵抽速 | 1.1L/s |
| 真空室 | 高硅硼玻璃 ~φ170×130mm | 極限真空 | ≤1Pa |
| 樣品臺(tái) | ≥φ90mm | 工作真空 | ≤2Pa |
| 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn) | 手動(dòng)或自動(dòng) | 樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 高速、低速兩檔可調(diào) |
| 供電 | AC220V/50Hz | 額定功率 | 800W |
| 蒸發(fā)源狀態(tài) | 系統(tǒng)上電后自動(dòng)檢測(cè) 4 根蒸發(fā)源通斷情況，并在主界面顯示 | ||
| 保護(hù)功能 | 真空保護(hù)、過(guò)流保護(hù)、過(guò)壓保護(hù)等 | ||
| 其它 | 真空、電流、電壓可實(shí)時(shí)曲線 顯示 | ||
| 選配 | 分子泵（高真空模式）、膜厚監(jiān)測(cè)、溫度檢測(cè)等 | ||
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