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納米加工

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  • 所在地廣州市
  • 更新時間2023-07-10
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廣州市本原納米儀器有限公司專業從事掃描探針顯微鏡及其相關產品的研究、開發、生產、銷售和技術服務,是國內技術的掃描探針顯微鏡研發和生產單位,也是企業和廣州市科技創新小巨人企業。我公司在該領域的長期技術積累,具備較強的研發、工程化和產業化能力,擁有該領域相關的、軟著等知識產權數十項。我公司CSPM/BY系列的掃描探針顯微鏡和原子力顯微鏡被認定為廣東省產品。中國售后服務完善的企業廣州市本原納米儀器有限公司是業界開通800免費技術熱線(8008303560)的廠家,也是國內南北兩地(北京、廣州)設有機構的廠家,為用戶提供更便捷和完善的售后服務。本原公司擁有專家級的技術支持團隊,其成員長期承擔大量和部省級研究項目,擁有豐富的研究開發經驗,實力雄厚,為用戶提供深層次的技術支持和售后服務,廣泛開展科研合作,并通過大量的研發投入不斷推出新技術和新儀器來滿足用戶未來的應用需求。中國歷史悠久的掃描探針顯微鏡公司本原公司由我國納米科技科學家白春禮院士于1988年12月8日在京創立,并于次年初推出商品化掃描探針顯微鏡——CSTM-8900型掃描隧道顯微鏡,是我國專業從事掃描探針顯微技術(SPM)研究、開發、生產、銷售及服務的企業。中國銷量的掃描探針顯微鏡制造商本原的CSTM/CSPM/BY系列掃描探針顯微鏡累計產銷三百余臺,裝備了我國一批高水準的實驗室,并出口到美國、日本、新加坡、香港、中國臺灣等國家和地區,是我國該領域能夠參與國際競爭的企業。主要用戶包括納米中心及各大研究所、北京大學、清華大學、中國科技大學、復旦大學、南京大學、中國臺灣大學、香港中文大學、國立新加坡大學等科研機構和高等學府。廣大用戶應用我們的儀器開展了廣泛的研究工作,取得了大量高水平的研究成果,據不統計,迄今已在國內外核心刊物上公開發表學術論文超過3500篇(具體見“應用成果”),SCI主要核心刊物均無條件認可本原儀器所獲得的數據結果。本原儀器產銷量、出口量,用戶最多,應用成果及公開發表論文數量最多、水平。以2016及2017年為例,本原售出儀器60余臺(其中出口5臺),營業收入1000余萬,無論儀器的銷售臺數或銷售額均超過國產儀器的60%以上,遙遙于國內的其他競爭對手。中國技術雄厚的掃描探針顯微鏡研發基地多年來,我們直接參與研制成功了我國臺掃描隧道顯微鏡(STM)、臺原子力顯微鏡(AFM)、臺激光檢測原子力顯微鏡(Laser-AFM)、臺低溫掃描隧道顯微鏡(Low-temperature STM)、臺橫向力顯微鏡(LFM),臺磁力顯微鏡(MFM)…… 囊括了掃描探針顯微儀器的全部獎項,先后獲得國家科技進步二、三等獎各一項,科技進步一等獎一項、二等獎二項,以及國家發明多項, 親身見證了我國掃描探針顯微鏡學和納米科技的發展歷程。本原公司擁有目前國內實力的掃描探針顯微鏡鏡(SPM)技術及應用的研發團隊,包括我國臺掃描隧道顯微鏡(STM)的主要研發者黃桂珍和我國臺原子力顯微鏡(AFM) 的主要研發者吳浚瀚,是掃描探針顯微鏡的研發基地,累計承擔科研項目20余項,是國內業界承擔科研項目(863計劃)的廠家,在研項目包括國家863課題一項、省部級項目2項。中國種類和功能齊備的掃描探針顯微鏡廠家產品及功能涵蓋掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)、導電原子力顯微鏡(C-AFM)、橫向力/摩擦力顯微鏡(LFM)、磁力/靜電力顯微鏡(MFM/EFM)、液相掃描探針顯微鏡(SPM in Fluid)、環境檢測及控制掃描探針顯微鏡(Environmental Control SPM)、納米加工(Nanolithography)……
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CSPM5500系列掃描探針顯微鏡納米加工系統精確的路徑位移定位自定義圖形加載功能可以在納米級尺度上加工任意需要的復雜結構 圖形刻蝕模式   利用電致刻蝕技術,可以在納米級尺度上加工任意需要的復雜結構
納米加工 產品詳情

CSPM5500系列掃描探針顯微鏡納米加工系統


精確的路徑位移定位

自定義圖形加載功能

可以在納米級尺度上加工任意需要的復雜結構


  圖形刻蝕模式  
 

利用電致刻蝕技術,可以在納米級尺度上加工任意需要的復雜結構。

電致刻蝕主要由一個施加在樣品與表面間的脈沖電壓引起,當所加電壓超過閾值時,暴露在電場下的樣品表面會發生化學或物理變化。這些變化或者可逆或者不可逆,其機理可以直接歸因于電場效應,高度局域化的強電場可以誘導原子的場蒸發,也可以由電流焦耳熱或原子電遷移引起樣品表面的變化。通過控制脈沖寬度和脈幅可以限制刻蝕表面的橫向分辨率,這些變化通常不僅表現在表面形貌上,通過檢測其導電性、dI/dS、dI/dV、摩擦力還可以分辨出襯底的修飾情況。


  壓痕/機械刻畫 
 

操縱微探針以可控的作用力對樣品表面進行局域施壓,使樣品發生彈性/塑性形變;也可在施壓的同時,控制探針以一定的路徑和速度在樣品運動,對樣品進行機械刻畫。

基于掃描探針顯微鏡(SPM)系統的壓痕/機械刻畫功能,為在納米尺度上評價材料的機械和運動性能,或在樣品表面構建特定的納米結構提供了一種方便實用的研究手段。

 
  矢量掃描模式  
 

系統提供一個向量腳本編譯器,允許用戶任意掃描方向、距離、速度及加工參數(如作用力、電流、電壓等),直接操縱探針運動,同時靈活測定各種信號和數據。

 
  DPN浸潤筆模式  
 

DPN(Dip-Pen Nanolithography)浸潤筆利用已作過分子修飾的探針,通過控制探針與樣品間的相互作用條件,來實現探針針尖到樣品表面的分子傳輸。

DPN實際上是一種簡便的從探針針尖到樣品表面的輸運分子的方法,其分辨率可媲美電子束刻蝕等方法,對納米器件的功能化更為有用。

 
關鍵詞:顯微鏡
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