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簡(jiǎn)介
Suragus面阻測(cè)試儀來(lái)自德國(guó),其通過(guò)渦流的原理測(cè)量材料面阻值,該技術(shù)是一種非接觸式面阻測(cè)試技術(shù)且測(cè)試準(zhǔn)確穩(wěn)定,對(duì)于無(wú)損檢測(cè)、在線監(jiān)測(cè)具有重要意義。
規(guī)格參數(shù)
測(cè)量模式:非接觸式實(shí)時(shí)測(cè)量
襯底:foils, glass, wafer等
zui大掃描尺寸:10 inch / 254 x 254 mm (其他尺寸可定制)
檢測(cè)間距:2 / 5 / 10 / 25 mm (取決于不同樣品厚度和應(yīng)用)
面阻范圍: 0.0001 to 1000 Ohm/sq
薄膜厚度:2nm – 2mm(依據(jù)面阻而定)
掃描間距:1 / 2 / 5 / 10 mm (其他可定制)
檢測(cè)速度:
4 inch / 200 x 200 mm約 0.5~ 5 minutes (1 – 10 mm pitch);
8 inch / 200 x 200 mm 約1.5 ~ 15 minutes (1 – 10 mm pitch)。
設(shè)備尺寸:23.6 x 9.05 x 31.5 inch / 600 x 230 x 800 mm @ 27 kg
其他選件:各向異性;光透過(guò)率。
功能圖解
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