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簡介
Suragus面阻測試儀來自德國，其通過渦流的原理測量材料面阻值，該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定，對于無損檢測、在線面阻監測具有重要意義。
規格參數
測量模式：非接觸式實時測量
襯底：foils, glass, wafer等
檢測間距：1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)
傳感器數目：1 – 99
面阻范圍： 0.0001~1000 Ohm/sq
薄膜厚度：2nm – 2mm（依據面阻而定）
工作環境：真空 / 非真空
工作溫度：< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制）
采樣率：1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s
配套設備（選配）：硬件觸發 / 條形碼閱讀器
選配功能：導電膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向異性
功能圖解
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