| XPS-7 半導體特氣檢漏儀 特 點： | |||||
| 只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體 | |||||
| 用盒式傳感器單元無需進行檢測器校正 | |||||
| 大幅度削減成本和維護時間 | |||||
| XPS-7 半導體特氣檢漏儀 規 格： | |||||
| 型 號 | XPS-7 | ||||
| 檢測原理 | 定電位電解式 | ||||
| 檢測氣體對象 | 半導體材料氣體 | ||||
| 指示范圍 | 根據規格 | ||||
| 分 辨 率 | 實現滿量程的百分之一 | ||||
| 指示精度 | FS±10%以內 | ||||
| 報警模式 | 2段報警方式 | ||||
| 報警方式 | 蜂鳴器間歇音、報警燈閃爍 | ||||
| 應答時間 | 60秒以內60%應答 | ||||
| 電 源 | 5號堿性干電池4節或AC變壓器 | ||||
| 電池使用時間 | 連續12小時以上 | ||||
| 外型尺寸 | W762×H150×D128除去突起物 | ||||
| 檢測方式 | 泵吸式 | ||||
| 使用溫度范圍 | 0℃～40℃ | ||||
| 重 量 | 約1.3kg | ||||
| 附 件 | 肩背皮帶、5號堿性干電池4節、過濾紙兩張 | ||||
| 選 購 件 | AC變壓器、傳感器通電臺、數據收集配套元件 | ||||
| XPS-7檢測氣體一覽表： | |||||
| 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S |
| XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm |
| XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm |
| XPS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm |
| XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm |
| XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 10ppm |
| XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm |
| XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7NO | NO | 100ppm |
| XPS-7HS | H2S | 50ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XPS-7CO | CO | 250ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm | |||
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