產品簡介
AD2000T 全自動劃片機是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機械傳動、傳感器及自動化控制等技術的精密數控設備。主要用于硅集成電路,發光二極管,鈮酸鋰,壓電陶瓷,砷化鎵,藍寶石,氧化鋁,氧化鐵,石英,玻璃,陶瓷,太陽能電池片等材料的劃切加工。利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。
產品特性
良好地使用隔間內所有的元件與選擇性單元,以達到化間隔
標準軸轉速可達60000rpm
兩光學切割機組單元
小的刀片間距
產品應用
硅片切割、劃片
硅片清洗
UV膜粘性去除
規格參數
工作尺寸 | Φ 12inch, 305mm | |
主軸 | 轉速 | 60000rpm |
功率 | 1.8kW | |
X軸 | 切割范圍 | 310mm |
速度 | 1000mm/sec | |
Y1/Y2軸 | 切割范圍 | 310mm |
速度 | 300mm/sec | |
分辨率 | 0.078μm | |
精度 | 0.002mm/310mm | |
Z1/Z2軸
| 行程 | 34mm |
速度 | 80 mm/sec | |
分辨率 | 0.002μm | |
重復精度 | 0.001 mm | |
θ | 轉動范圍 | 380° |