日本新宇宙COSMOS XP-703D半導體特氣檢漏儀
XP-703D(自動吸引式)半導體特氣檢漏儀
規格
檢測對象氣體
半導體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等)
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷、磷烷、、硅烷、氫氣
AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H2
0.2、0.3、0.1、0.5、1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度
10 秒以內
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日本新宇宙COSMOS XP-703D半導體特氣檢漏儀
XP-703D(自動吸引式)半導體特氣檢漏儀
規格
檢測對象氣體
半導體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等)
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷、磷烷、、硅烷、氫氣
AsH3、PH3、B2H6、SiH4、H2
0.2、0.3、0.1、0.5、1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度
10 秒以內
產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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