CANON 佳能 真空計 精密儀器
系列用途：半導體制造，液晶面板制造，真空裝置，醫療食品行業。
詳細介紹
CANON 佳能 真空計 M-342DG是在壓力傳感器部采用小型硅MEMS芯片，將溫度、振動、氣壓變動等外部環境的影響控制在最小限度，實現高精度穩定的壓力測量、CANON 佳能 真空計 精密儀器最小限度的零點調整頻率的隔膜真空計。
產品特性
CANON 佳能 真空計 M-342DG具有高精度穩定的壓力測量
優異的零點穩定性
溫度依賴性低，在沒有溫度調整機構的情況下實現優異的穩定性
優異的耐振動噪聲性能
小巧、低功耗
重量200g、尺寸W46mm×H49mm×L106mm、重量輕且緊湊（※1）
功耗0.5W
※1質量和尺寸為接頭NW16規格時
產品用途
CANON 佳能 真空計 M-342DG廣泛支持真空中壓力的高精度、長期穩定測量
半導體、顯示器、太陽能電池等各種真空裝置
·控制、監控濺射、PECVD等真空成膜工藝壓力
·負載鎖定室、晶片冷卻等氣體導入工藝、CANON 佳能 真空計 精密儀器系統的壓力管理
醫療、生物、食品等各種產業，以及各種研究開發用途
各種涂層、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析裝置、滅菌、真空泵評價、分子蒸餾等
參數規格
| 型名 | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| フルスケール圧力（Pa） | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 測定精度（％ of reading） | 0.20(at 23 ℃) | ||||
| ゼロ點溫度係數（％ of F.S./℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| スパン溫度係數（％ of reading/℃） | 0.01 | 0.005 | |||
| 分解能（％ of Full-scale） | 0.01 | 0.005 | |||
| 測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.01 | ||||
| 実用測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.05 | ||||
| 実用制御下限圧力（％ of Full-scale） | 0.5 | ||||
| 応答速度（ms） | 100 | 30 | |||
| 加圧上限 | 200 kPa(但しNW16、NW25のものは內部が陽圧にならないこと) *13.33 Pa仕様は130 kPa | ||||
| 電源電圧（VDC） | +13.5～26.4 | ||||
| 消費電力（W） | 0.5 | ||||
| アナログ出力（VDC） | 0～10 | ||||
| 使用溫度/保管溫度（℃） | 0～50/-20～70(非動作時) | ||||
| 大ケーブル長（m） | 100(専用ケーブル) | ||||
| ゼロ點調整方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
| 入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
| 接ガス部材質 | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
| フランジ?形狀と質量 | NW16(200 ｇ)、NW25(210 ｇ)、8-VCR メス(250 ｇ)、φ70ICF(460 ｇ) | ||||
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | ||||
| 安全保障貿易管理規制 | 非該當 | ||||
| M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ) | ||||
CANON 佳能 真空計 M-342DG
M-342DG-1D M-342DG-1N M-342DG-11 M-342DG-12 M-342DG-13 M-350PG-SD M-350PG-SP M-350PG-R S350PG-RS M-351PG M-361CP-SP M-361CP-RSRRS485 M-370CG-SP M-370CG-RS485 M-311-HG-RS311 SP M-336MX-RS RS485M-601GC M-603GC M-320XG M-431HG M-833HG M-723HG、M-823HG、M-923HG M-012DM MG-2、MG-2MG、MF LG-11SB-A UGD-1S B-A BRG-1B NIG-2F/NIG-2TF PG-150 TG-550C M-342DG-11，M-342DG-12，M-342DG-13 M-341DG-01，M-350PG-SD，M-350PG-SP M-350PG-RS，M-351PG-SP，M-360CP-SP M-360CP-RS，M-311HG-SP，M-311HG-RS M-336MX-SP，M-336MX-RS，M-601GC，M-603GC M-320XG，M-431HG，M-833HG，M-723HG M-823HG，M-923HG，M-012DM， MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF M-320XG-N16,M-320XG-N25,M-320XG-C34 M-320XG-C70,M-320XG-VG70,M-390,390-03CR 390-05CR,390-10CR M-336MX-SP-N25,M-336MX-SP-C7
