氣動超高真空擋板閥簡介
本CF系列超高真空擋板閥系列適用于超高真空系統中開斷管路，其為氣動驅動方式。CF系列超高真空擋板閥具有工作平穩，使用可靠、密封性能佳和壽命長等優點，是超高真空設備閥門之一。氣動超高真空擋板閥是以壓縮空氣為動力開啟或關閉閥板，在失去氣源時，閥板將依靠彈簧力自動關閉。閥門的介質為空氣及少數腐蝕性氣體。
超高真空氣動擋板閥特點
標準化、模塊化設計，易于更換超高真空擋板閥及維修；
超高真空擋板閥便于清潔的設計；
軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設計；
閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率小；
CF系列超高真空擋板閥主要性能指標：
適用范圍：1×10-6pa～1.2×105Pa
打開時閥板上的壓差：≤1.2×105Pa任意方向
閥體和閥座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
建議維修前循環次數：200，000次
閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關閉時≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規格可定做）
壓縮空氣（只適用于氣動）：0.4～0.7MPa
閥門開閉時間（只適用于氣動）：≤1s
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）
閥門重量、訂貨號：見上表
CF系列超高真空擋板閥外形尺寸氣動驅動
超高真空擋板閥選配件
氣動驅動閥門啟閉位置指示開關（磁性開關），型號為D-A73。
