產(chǎn)品關(guān)鍵詞：表面光電壓SPV測(cè)試、表面光電譜SPS測(cè)試、相位譜、表面光電流SPC測(cè)試、瞬態(tài)表面光電壓測(cè)試、穩(wěn)態(tài)表面光電壓譜儀、表面空間電荷測(cè)試、界面及缺陷態(tài)測(cè)試、表面電勢(shì)測(cè)量

Product keywords: Surface photovoltage SPV test, surface photospectrum SPS test, phase spectrum, surface photocurrent SPC test, transient surface photovoltage test, steady surface photovoltage spectrometer, surface space charge test, interface and defect state test, surface potential measurement

產(chǎn)品簡介

SteaPVC是 Orienlal Spectra(下稱0S)針對(duì)光催化、半導(dǎo)體、MOF（Metal-Organic Framework）等光電領(lǐng)域推出的穩(wěn)態(tài)表面光電流/光電壓測(cè)量儀。SteaPVC 是TranPVC（瞬態(tài)光電流/光電壓/光電荷測(cè)量儀）的姐妹產(chǎn)品，共同為行業(yè)提供了完善的穩(wěn)、瞬態(tài)光電流、光電壓、光電荷測(cè)量的產(chǎn)品方案。SteaPVC基于相敏檢測(cè)技術(shù)開發(fā)而成，可以在不同的激勵(lì)光波長下對(duì)超微弱穩(wěn)態(tài)光電流、光電壓信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)；集成了多種測(cè)量模式，可以便捷得到波長依賴的光電流譜、光電壓譜、相位譜；配備了可視化全自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)，可以便捷地對(duì)樣品的位置進(jìn)行可視化的調(diào)控，具有高度的自動(dòng)化、集成化特征，充分體現(xiàn)了東譜科技“一鍵開機(jī)、一次裝載、全局測(cè)量、實(shí)時(shí)交互”的產(chǎn)品理念。

表面光電壓(Surface photovoltage, SPV)是半導(dǎo)體廣泛存在的物理現(xiàn)象。表面光電壓譜(surface photovoltage spectroscopy，SPS)是以無接觸、無損的方式對(duì)半導(dǎo)體器件樣品進(jìn)行檢測(cè)，從而研究半導(dǎo)體的帶隙、表面電勢(shì)、氧化層、少子壽命、擴(kuò)散長度、界面及缺陷態(tài)、量子阱結(jié)構(gòu)的能帶Offset等。SteaPVC還具有光電流譜的選配模塊，針對(duì)具有光電流效應(yīng)的樣品構(gòu)建專門檢測(cè)電流回路，形成光電流，從而得到光電流譜。SteaPVC采用Melal-insulalor-semiconductor(MIS)的方法對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)試,是一種無損的測(cè)試方法，樣品制備簡單。 近些年，SPS的方法在硅基半導(dǎo)體、III-V族化合物半導(dǎo)體、鈣鈦礦、有機(jī)半導(dǎo)體、光催化、水解氫等行業(yè)得到了長足發(fā)展。

SteaPVC是行業(yè)內(nèi)商業(yè)化、自動(dòng)化的表面光電壓/光電流測(cè)量儀，為用戶帶來了革命性的體驗(yàn)。它實(shí)現(xiàn)了高度自動(dòng)化，幾乎所有操作都能自動(dòng)完成，省去了人工繁瑣的步驟，讓使用者無需專業(yè)背景也能輕松上手。其次，它的數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度高，能夠?yàn)橛脩籼峁?zhǔn)確、可靠的分析結(jié)果，極大提高了工作效率。而且，這款儀器還非常便捷易用，用戶經(jīng)過半天的培訓(xùn)，都能迅速設(shè)置并開始工作。它的界面設(shè)計(jì)直觀明了，即使是初學(xué)者也能快速掌握操作方法。這款儀器設(shè)備不僅解放了用戶的專業(yè)束縛，還將以其高效、精準(zhǔn)的特點(diǎn)贏得廣大用戶的喜愛，助力用戶輕松應(yīng)對(duì)各種復(fù)雜的SPS測(cè)試任務(wù)。

SPS是一種界面檢測(cè)技術(shù)。一般來說，表面被定義為具有不同物理性質(zhì)的介質(zhì)的邊界。例如，半導(dǎo)體和真空或氣體之間的表面被稱為“自由表面”，或者只稱呼“表面”。半導(dǎo)體和另一種固體之間的表面通常被稱為“界面”。然而，我們有時(shí)用“表面”一詞來表示任何邊界，即廣義的表面就是界面。SPS可以用來研究半導(dǎo)體表面、界面及本體相關(guān)的性質(zhì)。

表面局域態(tài)（Surface-localized state ）是產(chǎn)生表面光電壓的主要成因，形成表面局域態(tài)的物理來源有很多，如：1）由于周期性破壞而在能隙中產(chǎn)生的局部電子態(tài)；2）表面形成偶極層；3）晶格對(duì)稱性破壞；4）表面重組以最小化表面能；5）表面形成懸掛鍵；6）表面吸附了雜質(zhì)層等。這些表面局域態(tài)觸發(fā)了材料內(nèi)部與表面之間的電荷轉(zhuǎn)移，以建立兩者之間的熱平衡，形成了非電中性的空間電荷區(qū)。這是產(chǎn)生表面光電壓的主要成因。SPS檢測(cè)時(shí)，涉及到利用精心調(diào)制的探測(cè)光與樣品發(fā)生相互作用，然后檢測(cè)表面光電壓在光照和非光照的變化，得到表面光電壓的信號(hào)：V_spv = V_s(light)?V_s(dark)，該信號(hào)通常極其微弱，一般的檢測(cè)裝置很難測(cè)試。SteaPVC采用光信號(hào)調(diào)制技術(shù)，顯著提高了對(duì)微弱電學(xué)信號(hào)的捕獲和識(shí)別能力，從而可以有效地從背景噪聲中提取出有用的信號(hào)，進(jìn)而增強(qiáng)信號(hào)的信噪比，確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。在硬件設(shè)計(jì)上，SteaPVC充分考慮了電磁兼容（EMC）的問題，采用了多種措施來抑制可能的電磁干擾。這樣的設(shè)計(jì)使得設(shè)備不僅能夠抵抗外部電磁干擾，同時(shí)也減少了設(shè)備自身產(chǎn)生的電磁輻射，保證了儀器的高靈敏度和穩(wěn)定性。基于SteaPVS測(cè)量得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，結(jié)合樣品的實(shí)際物理模型過程，用戶可以研究一系列的物理特性，既包括半導(dǎo)體表面的特性，也可以得到半導(dǎo)體材料本體的性質(zhì)參數(shù)，一些常見的相關(guān)物理參數(shù)如下：

1. 表面和界面相關(guān)的性質(zhì)：

① 能帶圖

② DOS of surface states

③ Trap states/defects（gap states）

④ 表面氧化厚度

⑤ Band-offsets

⑥ 表面空間電荷區(qū)（SCR）

⑦ 表面偶極：surface dipole

⑧ Tail states

2. 同時(shí)，也可以得到很多本體性質(zhì)相關(guān)的定量信息：

① 帶隙；

② 導(dǎo)電類型；

③ 擴(kuò)散長度；

④ 少數(shù)載流子壽命；

測(cè)量模式

□ 單點(diǎn)測(cè)量；

□ 掃描測(cè)量；

• 波長掃描；
  

• 頻率掃描；
  

• 光源強(qiáng)度掃描；
  

• 電場(chǎng)強(qiáng)度掃描（EFISPS）；
  

• 溫度掃描：變溫測(cè)試。
  

產(chǎn)品特點(diǎn)

□ Turn-key系統(tǒng)，具有充分的“Plug & Play”特征；

□ 測(cè)試條件設(shè)置功能豐富；

□ 具有自動(dòng)化、高度集成化的特點(diǎn)；

□ 測(cè)試過程由軟件控制，使用便捷，對(duì)操作人員的專業(yè)技能要求低；

□ 樣品臺(tái)帶位移功能，方便對(duì)同一基片上的不同子器件進(jìn)行測(cè)試，多子器件測(cè)試切換由軟件進(jìn)行，測(cè)試效率高；

□ 集成樣品倉，方便更換樣品和電學(xué)互聯(lián)，樣品倉可視化監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀察測(cè)試光照射器件情況，便于調(diào)整樣品的光斑照射位置。

功能參數(shù)

□ 表面光電壓SPV；

□ 光電流譜(SPC，選配)；

□ 電場(chǎng)誘導(dǎo)表面光電壓譜（EFISPS，選配）；

□ 泵浦-探測(cè)表面光電壓譜（PPSPS，選配）；

□ 相位譜等。

應(yīng)用場(chǎng)景

□ 適用硅基半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、第三代寬帶隙半導(dǎo)體、Wafer測(cè)試、有機(jī)太陽能電池、鈣鈦礦太陽能電池、有機(jī)發(fā)光二極管、二維半導(dǎo)體、染料敏化太陽能電池、銅銦鎵硒太陽能電池；

□ 適用MOF（金屬有機(jī)框架）、COF（共軛有機(jī)框架）、鎘鋅碲化物（CZT）、光解水、Mxenes、光催化器件、其它光電轉(zhuǎn)換器件。

技術(shù)參數(shù)