一、產品特點及用途
1.產品特點
該設備是一種新型工業級干燥設備,采用長軸耐高溫大功率軸流風機,不銹鋼渦輪扇葉,結合設計風道,智能PID溫控器結合SSR固態繼電器控制高效不銹鋼發熱器加熱,形成溫度均勻的高溫熱風,對箱體內部進行加熱,確保烘箱內部達到理想的溫度環境。在工作時,工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化,自動控制充入氮氣排出氧氣,達到超低氧,滿足被烘烤部件無氧環境。
2. 產品用途
產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空,IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。
二、產品詳細參數;
1.箱體結構
1.1.內部材質:采用SUS304#日制800番1.5mm厚之鏡面不銹鋼板,滿焊處理,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE。
1.2.外部材質:外部采用1.2mm厚優質冷軋鋼板經防銹處理后噴塑,耐刮傷,造型美觀。
1.3.保溫材質:采用100K高級保溫棉,六面保溫斷熱,保溫厚度為80mm-120mm,保溫性能好。
1.4. 箱門結構:箱門于箱體結合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊,保溫性能好,抗老化,環保無污染。
1.5. 載物層架:可根據物品大小調節層間距,空間利用率高。
2. 溫度控制系統:采用日本三菱PLC+7寸彩色觸摸屏人機交互界面,定值/程序兩種控制模式,帶傳感器斷線報警功能,帶超溫警報保護功能,確保產品運行安全。
3. 控溫方式
3.1.訊號來源:采日制進口CA感應棒±0.5%。
3.2.輸出被控組件:SSR固態無節點輸出,確保加熱功率精準。
4. 箱內熱風循環系統
4.1. 送風方式:箱內采用單向水平運風,兩側風道內強壓送風。
4.2. 風道結構:風道兩側采用高密度沖孔風板,精準控制導流板角度,確保箱內溫度均勻性。
4.3. 送風裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經水平糾正處理,確保運風平穩 ,噪聲≤65dB。
4.4. 送風裝置安全保護系統:帶超溫過載過流保護功能,確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。
4.5電加熱系統:采用覆套式不銹鋼無塵化電熱管,潔凈不產塵(無縫潔凈不銹鋼覆套,高絕緣導熱改性氧化鎂澆筑,無名火,安全不漏電)
5.氧含量控制系統
5.1氮氣排氧控制系統采用雙路氮氣導入回路,各向箱內提供100L/min + 200L/min的氮氣,每路配套進口電磁閥,雙流量自動切換,在箱內達到無氧環境后,自動切換至低流量氮氣,大大節省氮氣消耗量,也可根據工藝制程要求,自行設定,滿足多種工藝需求。
5.2 排氧時間≤30 min,帶耐高溫氧含量控制儀,氧化鋯氧含量傳感器,耐高溫自吸泵一套,可實時檢測氧含量并顯示實際數值,配備氧含量超標報警功能。
6.整機安全保護系統
6.1. 采用三重超溫保護系統,確保箱體在運行過程中的整體安全性能(詳見技術參數)。
6.2. 箱體內部電器保護系統(確保箱體內部電器運行平穩,安全可靠):
6.2.1.超溫防止器(獨立限溫,超溫斷電);
6.2.2.相序保護(欠壓欠相保護);
6.2.3.馬達過電流保護;
6.2.4.控制線路保險絲;
6.2.5.電熱過電流保護;
6.2.6.無熔絲開關。
型號 | NHX-NO210D |
溫度范圍 | RT(常溫)+10~200℃/250℃/300℃ (可根據客戶需求訂制溫度600℃) |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動度 | ±1.0℃ |
溫度均勻性 | ≤±1.5% |
氧含量 | 20ppm |
門鎖 | 機械+電控 |
容積 | 210L |
內膽尺寸(寬W*深D*高H)mm | 600×500×700 |
外部尺寸(寬W*深D*高H)mm | 960×690×1560 |
層板數量 | 2塊 |
功率 | 5KW |
電源電壓 | AC 380V 50HZ(三相五線制) |