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T1200-250T3 均溫氧化擴散爐

參考價訂貨量

180000

≥1臺

具體成交價以合同協議為準
  • 型號T1200-250T3
  • 品牌
  • 所在地鄭州市
  • 更新時間2024-07-17
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區鄭州市
  • 產品數量36
  • 人氣值610
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產地國產 加工定制 適用領域其他
均溫氧化擴散爐應用于半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規模集成電路制造等領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,可用于2-8英寸工藝尺寸。
均溫氧化擴散爐 產品詳情

均溫氧化擴散爐

1.溫場均勻,恒溫區長度及精度:300~1250mm  800~1200℃±1℃

2.具有強大的軟件功能,NBD-101EP嵌入式操作系統,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態;配有故障自診斷軟件; 

3.程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間; 

4.具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇; 

5.冷端檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾; 

6.可存儲多組PID參數供系統運行調用功能,具有多點溫度補償

7.氣體流量采用數字化精確控制,采用模擬信號閉環控制,強弱電分開,各種數據交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數據安全;氣體打開具有緩啟動功能; 

8.具有多種報警功能及安全保護功能; 9.恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度; 

10.壓力自動調整技術,將壓力參數引入晶體硅氧化工藝,有效減小了尾部排風對工藝的干擾,減小由排風引起的工藝波動。


關鍵詞:標準
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