均溫氧化擴散爐
1.溫場均勻,恒溫區長度及精度:300~1250mm 800~1200℃±1℃
2.具有強大的軟件功能,NBD-101EP嵌入式操作系統,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態;配有故障自診斷軟件;
3.程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間;
4.具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;
5.冷端檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾;
6.可存儲多組PID參數供系統運行調用功能,具有多點溫度補償
7.氣體流量采用數字化精確控制,采用模擬信號閉環控制,強弱電分開,各種數據交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數據安全;氣體打開具有緩啟動功能;
8.具有多種報警功能及安全保護功能; 9.恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度;
10.壓力自動調整技術,將壓力參數引入晶體硅氧化工藝,有效減小了尾部排風對工藝的干擾,減小由排風引起的工藝波動。