性能

• 可用量程：0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（MC系列）
• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內部壓力（靜態）：45 psig（60 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

• MCW系列低壓損氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件

型號變體

• 標準配置型號，160 psia（MC系列）
• 高壓應用型號：160-320 psia（MCQ系列）

閥門選項

您可以為您的MCW系列低壓損氣體質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

• MCW系列—選配小型比例控制閥，適用于2 slpm及以下量程
• MCPW系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產品不適用）
• MCHW系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
• MCRW系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于5 slpm及以上流量

結構選項

• 通訊協議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項

• 流量累加器
• 集成式電位計控制
• 高精度或自定義校準

快速泄漏測試

對閥門或傳感器等體積較小的元件進行泄漏測試時，將一臺MCW系列低壓損氣體質量流量控制器設置在壓力控制模式，使其在實時提供準確的質量流量和體積流量讀數的同時，還能確保被測試裝置保持恒定壓力。按照此種配置方法，僅一臺MCW系列低壓損氣體質量流量控制器便能執行壓力控制器和質量流量計的功能。