性能

• 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準質量流量控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單

• MC系列氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件

型號變體

• 低壓損型號，最多60 psia（MCW系列）
• 高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）
• 閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
• 配備氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
• 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

閥門選項

您可以為您的MC系列氣體質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

• MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應用
• MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產品不適用）
• MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
• MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量

腐蝕性氣體（MCS系列）

MC系列氣體質量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質。

結構選項

• 通訊協議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項

• 流量累加器
• 集成式電位計控制
• 高精度或自定義校準

氣體噴射控制pH值

在跨度極寬的量程范圍內迅速調整并控制質量流量以符合不斷變化的應用需要。根據PLC或PC的數字反饋，實時更改流量設定值，保持氣體質量流量控制器過程工藝條件。

自定義氣體混合系統

艾里卡特的質量流量控制器非常適用于構建自定義氣體混合系統；在這種類型應用中，可充分發揮氣體質量流量控制器固有的靈活性和適應性。

高溫質量流量控制

艾里卡特的遠程電子器件選項將電子器件與傳感器和氣體質量流量控制器主體部分分隔開來。這允許流動的高溫氣體通過氣體質量流量控制器的主體部分，且不會使控制器電子器件超出其設計溫度。