● 的 EMI / RFI / 光密屏蔽設計

● FemtoAmp 低泄漏能力

● 溫度范圍 -60°C 至 300°C

● 支援飛安級低漏電量量測

● ERS 的 AC3 冷卻技術

● 具有高度可重復性（1µm）的壓板提升設計，具有用于安全，接觸，分離（300µm）和加載（3mm）的三個離散位置

Chuck XY行程

● 樣品測試尺寸：8 英寸 - 12 英寸

● 行程范圍：225 × 260 mm (8.9 × 10.2 in)

● 精密行程范圍：25 × 25 mm

● 精細行程分辨率：< 1.0 μm (0.04 mils) @ 500 μm/rev

● 表面平坦度：≤ ±5 μm

● 盤旋轉：360°

● 卡盤旋轉：± 5.0°

Chuck Z行程

● 行程范圍：5 mm (0.2 in)

● 行程精度：< 1.0 μm (0.04 mils) @ 500 μm/rev

● 氣浮行程：20 mm, pneumatically

手動顯微鏡

● 移動范圍：50 × 50 mm (2 × 2 in)

● 分辨率：< 5μm (0.2 mils)