產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：可優于0.5%
● 可測范圍廣，0.01~99%
● 滿量程超低壓損為360Pa
● 響應時間快，優于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
精度升級
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數 / ℃溫差± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考背面
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
測量范圍 0.01～99%
顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8%讀數 + 0.2%滿量程）見上段精度升級部分
± （0.4%讀數 + 0.2%滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復 性 ±（0.2%讀數+0.02%滿量程）
質量流量溫度漂移 0.03%滿量程當溫度從25℃起每變化1℃
質量流量壓力漂移 ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar
響應時間 優于10 ms
預熱時間 < 1="">
標定工況 25 ℃&1 Atm（可現場在測量范圍內隨意更改）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 0.3 MPa表壓，進出口允許瞬時壓差70 Kpa
操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ±0.5%讀數（讀數＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC（如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）
供電電流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
選項配件
●標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入 (僅用于質量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質量流量控制器)
可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可測量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
ProfiBUS數字信號輸入(僅用于質量流量控制器)
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出 (僅用于質量流量計)
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質量流量控制器)
機構認證
待更新。
尺寸壓損
滿量程質量流量計 | 滿量程壓損1（PSID） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 過程連接尺寸1 |
0.5 ~ 5 SCCM | 0.07 PSID | 3.897''H x 2.375''W x 1.050''D | M5 內螺紋（10-32兼容）2 |
10 ~ 20 SCCM | 0.07 PSID | ||
50 SCCM ~ 5 SLPM | 0.07 PSID | 4.067''H x 2.375''W x 1.050''D | 1/8'' NPT 內螺紋 |
5 SLPM | 0.07 PSID | 4.167''H x 2.375''W x 1.050''D | |
10 SLPM | 0.08 PSID | 4.207''H x 2.625''W x 1.050''D | 1/4'' NPT 內螺紋 |
20 SLPM | 0.25 PSID | 4.367''H x 4.000''W x 1.600''D | |
40 SLPM | 0.12 PSID | 4.967''H x 4.000''W x 1.600''D | 1/2'' NPT 內螺紋 |
50 SLPM | 0.14 PSID | 3/4'' NPT 內螺紋 | |
100 SLPM | 0.24 PSID | ||
250 SLPM | 0.60 PSID | ||
500 SLPM | 0.39 PSID | 5.287''H x 5.200''W x 2.900''D | |
1000 SLPM | 0.24 PSID | 6.267''H x 5.200''W x 3.840''D | 2'' NPT 內螺紋 |
1、有關可用的進程連接選項，請，例如： 壓縮、表面密封、推入式連接、BSPP、SAE或Swagelok®（包括管子、VCO和VCR）。 2、與Buna-N O型密封圈一起裝箱至1/8“內螺紋NPT接頭。 | |||
產品大圖
氣體編碼
* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。
