產品特色
● 準確。流量測量具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/200th的各種氣體，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。
● 使用簡單。只要您打開氣體質量流量計，氣體質量流量計便能顯示您所選工藝設備中的實時流量、壓力和溫度讀數。
● 連接。艾里卡特氣體質量流量計默認采用數字與模擬兩種通訊方式；訂購時，可選擇以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通訊，方便與您的數字工業或實驗室網絡整合。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 泄漏檢測
● 環境監測 ● 真空行業及鍍膜
● 汽車制造 ● 燃料電池
● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量
● 工業爐窯 ● 半 導 體
● 光 伏
精度升級
量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取值）
測量范圍 0.1 ~ 99%滿量程
重復性 ± 0.1%滿量程
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數/ ℃溫差
± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM（）
測量范圍 0.5% ~ 99%滿量程
顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級部分見上段
重 復 性 ± 2%滿量程
質量流量溫度漂移 0.02%滿量程 / ℃ / Atm
響應時間 優于10 ms
預熱時間 < 1="">
標定工況 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 99%
工作壓力 320 psia
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸入/輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus、EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差
供電電壓 7-30 VDC （15-30 VDC用于4-20 mA輸出）
供電電流 0.040 A （+ 輸出電流在 4-20 mA）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 303和302不銹鋼、Viton®、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、硅、玻璃。
如果您申請需要其它材料，請聯系我們。
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
選項配件
（需另行訂購）
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
包裝清單
MQ系列高壓氣體質量流量計（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
尺寸壓損
滿量程質量流量計 | 滿量程壓損（PSID） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸1 | 過程連接尺寸2 |
10 SCCM ~ 50 SCCM | 1.0 | 4.4''H x 2.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）（內螺紋） （Buna-N表面密封至1/8''NPT內螺紋） |
100 SCCM ~ 20 SLPM | 1.0 | 4.6''H x 2.4''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 內螺紋 |
50 SLPM | 2.0 | 5.1''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/4'' NPT 內螺紋 |
100 SLPM | 2.5 | ||
250 SLPM | 2.1 | 5.7''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/2'' NPT 內螺紋 |
500 SLPM | 4.0 | 5.7''H x 4.0''W x 1.6''D | 3/4'' NPT 內螺紋 (A 1-1/4” NPT 內螺紋可選過程連接可用于2000 slpm 流量計) |
1000 SLPM | 6.0 | ||
1500 SLPM | 9.0 | ||
2000 SLPM | 5.0 | 6.0''H x 5.2''W x 2.9''D | |
3000 SLPM | 7.1 | 6.0''H x 5.2''W x 2.9''D | 1-1/4'' NPT 內螺紋 |
注1、公制數據見圖紙； 2、與Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可根據要求連接VCR和SAE。 | |||
產品大圖
型號列表
見“尺寸壓損”。
艾里卡特20Q系列高壓氣體質量流量計適用于非腐蝕性氣體。
艾里卡特20QS系列高壓氣體質量流量計適用于腐蝕性氣體。
氣體編碼
* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。
