一、產品簡介
仕富梅全新的SERVOPRO NanoChrome 超痕量氣體分析儀，通過引進的氣體傳感技術和信號處理方法, 改變了半導體行業中的超高純氣體分析，專為半導體生產中處于超痕量水平的雜質氣體和烴類測量而設計。的NanoChrome采用由仕富梅特別開發的一種創新高靈敏度的等離子體發射探測器(PED)從而能夠提供超低檢測限度。已通過氬氣和氮氣的超痕量測量測試，擴展的測量波長使測量H2, CH4, CO 以及CO2以及直鏈烴的測量無需甲烷轉化器。由于無需可燃氣體，仕富梅PED傳感器增加了安全性，同時降低了運營成本。
二、產品特點
u BETTER THAN THE GETTER 的多組分超微量級氣體分析儀
u 適用于 Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC 的 PED 傳感器無需維護
u 無需燃料氣，從而提高了安全性
u 智能平臺，獨立軟件的單機系統
u 基于互聯網的遠程操控
u 內置校準系統
u 與仕富梅公司的 Delta F 系列超高純氣體分析儀一道為客戶提供全面解決方案
三、產品規格
LDL：檢測限低達 300ppt（根據具體情況加以應用）
量程：0-250ppb（用戶可以配置）
重量：11-27Kg (25-60lbs)（根據具體情況加以應用）
校準：250ppb 標氣或在選裝內部稀釋系統條件下使用5ppm標氣
功率消耗：400W-1200W
運載氣體：凈化的氦氣或氬氣
可重復性：檢測限讀數誤差為 ±2%，以較高者為準
樣氣流量：50-350ml/min（根據具體情況加以應用）
樣氣壓力：30psig（根據具體情況加以應用）
載氣流量：通常為 90-500ml/min（根據具體情況加以應用）
載動壓力：建議為 100psig
檢測器類型：增強型等離子發射檢測器
燃料和空氣：任何情況下都不需要
流量穩系統：全部流量采用PID系統進行電子控制
尺寸 (WxDxH)：底盤或從機箱，標準機架安裝式4U附件482 x 600 x 177mm (19 x 24 x 7")
四、圖片展示
