產品簡介：
EDIS全自動測量工具顯微鏡是通元識微光電為專業客戶而設計的一款超高測量精度的產品。采用了國/內外的顯微鏡影像系統、運動控制系統及精密的線性導軌及光柵尺，它可實現XYZ三軸全自動測量，并支持表面光源、輪廓光源及搖桿、電動鼻輪等各種附件。配備的VMA測量軟件，具有幾何測量、拍照、CNC編程、報表輸出等各種核心功能。它廣泛的應用于電子元件,精密模具,精密刀具,彈簧,塑膠,橡膠,油封止閥,照相機零件.汽車零件.PCB加工等領域，特別適用于大型半導體晶圓、液晶面板、太陽能基板、大型PCB等行業，實現對產品的拍照、觀察、測量等品控要求。
儀器特點：
◆ XYZ三軸CNC控制，全自動測量；
◆ 三軸精密線性滑軌、精密傳動系統；
◆ 可程控表面光源，LED輪廓光源；
◆ 自動對焦，支持電動鼻輪；
◆ VMA全自動影像測量軟件；
◆ VMZ全功能影像測量軟件；
◆ 多種測量行程規格配置。
技術參數：
| 型號 | EDIS120100P | EDIS150120P | EDIS150150P | EDIS170170P | |
| 行程(L×B×H,mm) | 1200×1000*200 | 1500×1200×200 | 1500×1500×200 | 1700×1700×200 | |
| 結構 | 花崗巖龍門式 | ||||
| 外部尺寸(L×B×Hmm) | 2000*2000×1900 | 2300×2200×1900 | 2300×2500×1900 | 2500×2700×1900 | |
| 整機重量(kg) | 3000 | 3800 | 4500 | 5500 | |
| 承重(kg) | 40 | ||||
| 測量精度 | XY軸 | E2=(5+L/150)µm | |||
| Z軸* | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 速度 | XY軸 | 15mmin | |||
| Z軸 | 5mmin | ||||
| 光柵尺 | 標配：Taiwan Rational 0.001mm分辨率 選配：英國Renishaw 0.001分辨率 | ||||
| 傳動方式 | Taiwan TBI XYZ軸精密級滾珠絲杠 | ||||
| 導軌 | Taiwan Hiwin精密級導軌 | ||||
| CCD | SONY 1/3” CCD | ||||
| 光源 | 輪廓光 | China EDIS LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 表面光 | 顯微鏡同軸光源，256級亮度可調 | ||||
| 光學系統 | 標配：China ICM-100 多鏡頭金相顯微鏡（1X/5X/10X/20X） | ||||
| 軟件 | 標配：EDIS VMA3.00 | ||||
| 運動控制 | Japan Panasonic J系交流CNC 系統 + ADS運控卡+霍爾3維工業搖桿 | ||||
| 儀器桌 | EDIS | ||||
| 計算機 | 研祥(China EVOC)IPC610（研祥 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環境 | 溫度20℃±2℃，濕度30～80% | ||||
| 振動<0.002g，低于15Hz | |||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | ||||
