產(chǎn)品描述：

高靈敏度，不需要靶鏡，非接觸式測量

可測的微、小、輕、薄、黑、透、易變形、熱表面

對被測物表面反射率無嚴(yán)格要求，可測“黑”表面

采用激光自干涉原理，測量結(jié)果可溯源

無外部光學(xué)器件，操作靈活方便

可非接觸測量物體的位移、振動，以及材料膨脹系數(shù)等。

統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測目標(biāo)上設(shè)置靶鏡，以反射測量光線獲得高精度的測量結(jié)果。鐳測科技推出的國際的LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀，無需靶鏡，僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實現(xiàn)高精度測量，是真正意義上的非接觸式測量。 除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測量目標(biāo)外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測量，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機械位移、材料膨脹系數(shù)、振動等。

以下是本產(chǎn)品的技術(shù)或特點：

1、高靈敏度，可實現(xiàn)對非配合目標(biāo)的非接觸式測量

2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。

3、具有較高的分辨率和較大量程，測量結(jié)果可以溯源。

非接觸激光回饋干涉儀的分辨率可達(dá)納米量級，量程可達(dá)2m，如果加擴束鏡，可達(dá)數(shù)米。它同干涉儀一樣，測量結(jié)果可以溯源到光波長，從而無需標(biāo)定。

產(chǎn)品由激光測頭、信號處理電箱和軟件組成。