等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫學等領域，主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。
產品特點：
u 7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監測工藝參數狀態，20個配方程序，工藝數據可存儲追溯。
u PLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
u 石英真空艙，真空管路系統采用316不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。
u 采用質量流量計，實現對氣體輸入精準控制，改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
u HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
u 60度傾角操作界面設計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。
u 頂置真空艙，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式，開關蓋方便。
u 采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設計，符合人體功能學，操作更方便。
u 有效清洗面積大，可清洗直徑8吋硅片。
u 安全保護，艙門打開，自動關閉電源。
G系列產品專為處理更大樣品尺寸而設計，滿足大部分實驗室和中試生產模擬生產條件要求。
技術參數：
型號 | 10系列 | 10plus | C10M | Mplus | G系列 | Gplus | |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | |
射頻功率 | 10-600W | 10-300W | 10-600W | 10-300W | 10-600W | 10-150W | |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 | 自動匹配 | ||||
激發方式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | ||||
氣體控制 | 雙浮子流量計 | 單路MFC（可選兩路） | 單路MFC（可選兩路） | ||||
艙體尺寸 | L300Xφ215mm | L300Xφ215mm | H100xΦ269mm | ||||
艙體容積 | 10.8L | 10.8L | 5.6L | ||||
艙體材質 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 石英玻璃 | ||||
有效處理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | Φ269mm 圓盤 | ||||
時間設定 | 9999秒 | 9999秒 | 9999秒 | ||||
真空泵 | 抽速8m3/h | 抽速8m3/h | 抽速4m3/h | ||||
氣體穩定時間 | 1分鐘 | 1分鐘 | 1分鐘 | ||||
真空度 | 100pa以內 | 100pa以內 | 100pa以內 | ||||
電 源 | AC220V 50/60Hz 766/466W | AC220V 50/60Hz 752/452W | AC220V 50/60Hz 752/302W | ||||
產品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | L425xW480xH445mm | ||||
包裝尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | L550xW630xH700mm | ||||
整機重量 | 55kg | 55kg | 30kg | ||||
